北京大學：三維微應變片-多功能模塊化觸覺傳感器集成

柔性觸覺傳感器在人機界面、機器人操作、生物醫學等領域發揮著重要作用。然而，它們柔軟的外形因素卻在與基于晶圓的設備、商業芯片或電路板的集成方面提出了挑戰。

近日，為了克服上述挑戰，北京大學韓夢迪團隊介紹了一套靈活的模塊化觸覺傳感器的制造方法、器件設計、集成策略和生物醫，實現了與商業電子的兼容。傳感器利用光刻技術制備的金屬或合金細線作為傳感元件。將這些元件布置在三維空間中，可以精確、無滯后、解耦地測量溫度、法向力和剪切力。將這些傳感器組裝在柔性印刷電路板上，與商業電子產品一起形成各種柔性電子系統，具有皮膚界面無線測量、生物力學信號連續監測和觸覺信息空間映射的能力。靈活的模塊化觸覺傳感器擴展了微電子和宏觀電子的功能組件組合。

來源：傳感器專家網