北京航空航天大學：研制成功的高靈敏度石墨烯MOEMS諧振壓力傳感器

這種方法創新性地采用了間接敏感的方法，在大氣中表現出60倍的能量損失，并解決了基底和石墨烯之間長期存在的氣體滲透問題。值得注意的是，所提出的傳感器表現出1.7Hz/Pa的高壓力靈敏度，比硅的同類產品的靈敏度高5倍。

此外，全光封裝腔結構有助于實現6.9×10-5 Pa-1的高信噪比和低溫度漂移（0.014%/?C）。所提出的方法為使用二維材料作為敏感膜的壓力傳感器的長期穩定性和能量損失抑制提供了一個很好的解決方案。

本文報道了MOEMS石墨烯諧振壓力傳感器，其特點是通過陽極鍵合實現了10-3Pa的真空封裝，大大降低了壓力差下基底和石墨烯之間高空氣阻尼和氣體滲透造成的能量損失。總的來說，所提出的傳感器為提高信噪比和實現二維材料諧振傳感器的可靠使用提供了一個有前途的解決方案。