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    擴散硅式壓力傳感器和電容式壓力傳感器

    時間:2022/4/27閱讀:1466
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    壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種傳感器,傳統(tǒng)的壓力傳感器以機械結(jié)構(gòu)型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學輸出,所以被最常應用在工業(yè)領(lǐng)域中。



    隨著半導體技術(shù)的發(fā)展,半導體壓力傳感器也應運而生,其特點是體積小、質(zhì)量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。



    壓力傳感器的種類很多,根據(jù)不同的分類標準可以分成不同種類。下面為大家介紹兩種最為常見的壓力傳感器:



    1



    擴散硅式壓力傳感器



    擴散硅壓力傳感器工作原理是基于壓阻效應,利用壓阻效應原理,被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,利用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。



    擴散硅壓力傳感器體積小、重量輕,性能穩(wěn)定,適合制作小量程的變送器,主要應用于過程控制系統(tǒng)、壓力校準儀器、液壓系統(tǒng)、生物醫(yī)藥儀器、液壓系統(tǒng)及閥門、液位測量、制冷設備和 HVAC 控制等行業(yè)。



    2、電容式壓力傳感器



    電容式壓力傳感器是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉(zhuǎn)換成與之成一定關(guān)系的電量輸出的壓力傳感器。它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極,當薄膜感受壓力而變形時,薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化,通過測量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號。



    電容式壓力傳感器具有輸入能量低,高動態(tài)響應,自然效應小,環(huán)境適應性好等特點。其中,陶瓷電容壓力傳感器因其耐腐蝕、抗沖擊、無遲滯、介質(zhì)兼容性強等優(yōu)勢可以廣泛應用在水、氣、液多種介質(zhì)的壓力檢測。



    壓力是生產(chǎn)生活中的重要參數(shù)之一,壓力傳感器也廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè)。


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