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  • 武漢普賽斯儀表有限公司
    初級會(huì)員 | 第3年

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    半導(dǎo)體電學(xué)特性測試系統(tǒng)—IV+CV測試儀

    時(shí)間:2023/12/8閱讀:692
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    半導(dǎo)體電學(xué)特性測試系統(tǒng)—IV+CV測試儀概述:

    SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是武漢普賽斯自主研發(fā)、精益打造的一款半導(dǎo)體電學(xué)特性測試系統(tǒng),具有高精度、寬測量范圍、快速靈活、兼容性強(qiáng)等優(yōu)勢。產(chǎn)品可以同時(shí)支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測試,旨在幫助加快前沿材料研究、半導(dǎo)體芯片器件設(shè)計(jì)以及先進(jìn)工藝的開發(fā),具有桌越的測量效率與可靠性。

    基于模塊化的體系結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀可以幫助用戶根據(jù)測試需要,靈活選配測量單元進(jìn)行升級。產(chǎn)品支持Z高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測量,同時(shí)檢測10kHz至1MHz范圍內(nèi)的多頻AC電容測量。SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀搭載普賽斯自主開發(fā)的專用半導(dǎo)體參數(shù)測試軟件,支持交互式手動(dòng)操作或結(jié)合探針臺的自動(dòng)操作,能夠從測量設(shè)置、執(zhí)行、結(jié)果分析到數(shù)據(jù)管理的整個(gè)過程,實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征;也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用,滿足高低溫測試需求。

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    產(chǎn)品特點(diǎn):

    30μV-1200V;1pA-100A寬量程測試能力;

    測量精度高,全量程下可達(dá)0.03%精度;

    內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)器件測試程序,直接調(diào)用測試簡便;

    自動(dòng)實(shí)時(shí)參數(shù)提取,數(shù)據(jù)繪圖、分析函數(shù);

    在CV和IV測量之間快速切換而無需重新布線;
    提供靈活的夾具定制方案,兼容性強(qiáng);

    免費(fèi)提供上位機(jī)軟件及SCPI指令集;

    典型應(yīng)用:

    納米、柔性等材料特性分析;

    二極管;

    MOSFET、BJT、晶體管、IGBT;

    第三代半導(dǎo)體材料/器件;

    有機(jī)OFET器件;

    LED、OLED、光電器件;

    半導(dǎo)體電阻式等傳感器;

    EEL、VCSEL、PD、APD等激光二極管;

    電阻率系數(shù)和霍爾效應(yīng)測量;

    太陽能電池;

    非易失性存儲(chǔ)設(shè)備;

    失效分析;


    系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格

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    訂貨信息



    模塊化構(gòu)成:

    低壓直流I-V源測量單元

    -精度0.1%或0.03%可選
    -直流工作模式
    -最大電壓300V,最大直流1A或3A可選
    -最小電流分辨率10pA
    -四象限工作區(qū)間
    -支持二線,四線制測試模式
    -支持GUARD保護(hù)


    低壓脈沖I-V源測量單元

    -精度0.1%或0.03%可選
    -直流、脈沖工作模式
    -最大電壓300V,最大直流1A或3A可選,最大脈沖電流10A或30A可選
    -最小電流分辨率1pA
    -最小脈寬200μs
    -四象限工作區(qū)間.
    -支持二線,四線制測試模式
    -支持GUARD保護(hù)


    高壓I-V源測量單元
    -精度0.1%    
    -最大電壓1200V,最大直流100mA

    -最小電流分辨率100pA
    -一、三象限工作區(qū)間
    -支持二線、四線制測試模式
    -支持GUARD保護(hù)


    高流I-V源測量單元

    -精度0.1%
    -直流、脈沖工作模式.
    -最大電壓100V,最大直流30A,最大脈沖電流100A
    -最小電流分辨率10pA

    -最小脈寬80μs
    -四象限工作區(qū)間
    支持二線、四線制測試模式
    -支持GUARD保護(hù)


    電壓電容C-V測量單元

    -基本精度0.5%
    -測試頻率10hZ~1MHz,可選配至10MHz
    -支持高壓DC偏置,最大偏置電壓1200V
    -多功能AC性能測試,C-V、 C-f、 C-t


    硬件指標(biāo)-IV測試

    半導(dǎo)體材料以及器件的參數(shù)表征,往往包括電特性參數(shù)測試。絕大多數(shù)半導(dǎo)體材料以及器件的參數(shù)測試,都包括電流-電壓(I-V)測量。源測量單元(SMU),具有四象限,多量程,支持
    四線測量等功能,可用于輸出與檢測高精度、微弱電信號,是半導(dǎo)體|-V特性測試的重要工具之-。SPA-6100配置有多種不同規(guī)格的SMU,如低壓直流SMU,低壓脈沖SMU,大電流SMU。用戶可根據(jù)測試需求靈活配置不同規(guī)格,以及不同數(shù)量的搭配,實(shí)現(xiàn)測試測試效率與開支的平衡。


    靈活可定制化的夾具方案

    針對市面上不同封裝類型的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品,普賽斯提供整套夾具解決方案。夾具具有低阻抗、安裝簡單、種類豐富等特點(diǎn),可
    用于二極管、三極管、場效應(yīng)晶體管、IGBT、SiC  MOS、GaN等單管,模組類產(chǎn)品的測試;也可與探針臺連接,實(shí)現(xiàn)晶圓級芯片
    測試。

    探針臺連接示意圖


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