臭氧濃度檢測儀檢測原理有半導體原理（英國E2V）、電化學檢測原理、紫外光法原理等。這里主要來介紹的是第三種方法，即紫外光法。
臭氧濃度檢測儀校準方法：
校準儀器校準 ：采用紫外光法臭氧檢測儀對已生產的臭氧檢測儀進行分布選取10個測試點對比，誤差范圍控制在+1 %以內為合格。
化學滴定法 ：化學方法即、滴定法來檢測臭氧濃度。我們也分布選取10個測試點，然后用臭氧檢測儀與化學滴定法測試的10個點進行對比，誤差范圍控制在 +1%以內。滴定法原理是用強氧化劑臭氧與反應,使碘游離出來到水里，水就會變為茶色。（反應式： O3+2KI+H2O O2+I2+KOH）利用標準液滴定，使游離碘變為，反應終點為水*褪色。（反應式：I2+2Na2S2O3 2NaI+Na2S4O6）
臭氧濃度：C= (Ana×B×2400) / V0 單位 (mg/l)
(注釋：Ana----標準溶液用量ml；B---標準溶液濃度mol/l；V0-----臭氧氧化其他取樣體積ml)
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