Setra西特217超高純壓力變送器
 

Setra 217 型壓力變送器專為模塊式 “Block” 氣體棒和面板設(shè)計(jì)，非常適合惡劣環(huán)境（例如冷氣流導(dǎo)致的溫度瞬變下的壓力測量應(yīng)用于·模塊式“Block”氣體棒和面板·高純度氣體輸送系統(tǒng)半導(dǎo)體過程工具。

特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度 7 Ra
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·出色的穩(wěn)定性，避免停機(jī)
·可選帶 C 型或 W 型密封的壓力端口
·抗電磁干擾 / 射頻干擾，可防止誤停機(jī)
·易于吹掃
·符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
·模塊式“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
217 型壓力變送器可選帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力
端口，帶有易于吹掃的小型傳感器腔室。所有接液部件均采
用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至 5 Ra（蕞
大 7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實(shí)現(xiàn)無污染氣體輸送。
每個(gè)傳感器都采用質(zhì)譜儀進(jìn)行了 1 x 10-9 ATM.CC/sec 級別的
氦滲漏試驗(yàn)。
217 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種
輸出類型，并提供多種標(biāo)準(zhǔn)電氣接口。頂部外側(cè)帶有零點(diǎn)
和量程調(diào)整裝置，進(jìn)一步體現(xiàn)了*設(shè)計(jì)，適合所有朝下
安裝的 UHP（超高純）壓力測量應(yīng)用。 217 型同時(shí)也是
一款獲磚利的可變電容傳感器，采用 316L 不銹鋼隔膜和
絕緣電極板，可變電容在傳感器本體與電極板之間形成。
當(dāng)氣體壓力提升時(shí)，隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感
器將檢測到電容變化，并基于磚利的電荷平衡原理，通過
Setra *的定制集成電路將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流
電信號。
Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于 Setra 成熟的電容傳
感技術(shù)制造，能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)
定的電壓或電流輸出信號。

217型的技術(shù)規(guī)格

性能數(shù)據(jù)

jing確RSS*（恒定溫度下）±0.25%全量程或讀數(shù)±1.0%

非線性，BFSL±0.15%全量程

滯后0.20%全量程

非重復(fù)性0.02%全量程

熱效應(yīng)**

補(bǔ)償范圍oF(℃)+15到+150（-9到+65）

零點(diǎn)漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)

范圍漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)

*非線性、非重復(fù)性和遲滯的RSS（和方根）值。

**在額定70oF下校驗(yàn)過的設(shè)備。根據(jù)此數(shù)據(jù)而計(jì)算的**溫度誤差。

環(huán)境數(shù)據(jù)

溫度

工作溫度*oF(℃)-40到+185（-40到+85）

儲存溫度oF(℃)-40到+185（-40到+85）

*工作溫度僅是電子設(shè)備的溫度Ji限。受壓媒介的溫度可能要高或低很多。

物理描述

外殼不銹鋼

電氣連接6ft.多芯電纜，Bayonetor

D-型接頭

壓力接頭下安裝“C”密封

通風(fēng)通過零點(diǎn)和范圍接近螺釘

重量6.5oz(184g)

電氣數(shù)據(jù)（電壓）

電路3根導(dǎo)線（Exc、Out、Com）

激勵(lì)10至30VDC（5VFSO）

13至30VDC（10VFSO）

輸出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**

0至10VDC或0.2至10.2VDC**

電流消耗<8mA

*校準(zhǔn)精度為50Kohm負(fù)荷，可操作5000ohm或更大的負(fù)荷。

**零點(diǎn)輸出的出廠設(shè)置在±25mV之內(nèi)（限5VDC輸出）

或±50mV(限10VDC輸出)。

**范圍（全量程）輸出的出廠設(shè)置在±25mV之內(nèi)

（限5VDC輸出）或±50mV(限10VDC輸出)。

電氣數(shù)據(jù)（電流）

電路2根導(dǎo)線

輸出*4至20mA**

外部負(fù)荷0至800Ohm

**電源電壓(VDC)=10+0.02x（接收器正Ji導(dǎo)線的電阻）。

**電源電壓(VDC)=30+0.004x（接收器正Ji導(dǎo)線的電阻）。

*出廠時(shí)以24VDC回路電壓和一個(gè)250ohm負(fù)荷，進(jìn)行校準(zhǔn)。

**零點(diǎn)輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA之內(nèi)。

**范圍（全量程）輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA之內(nèi)。

壓力媒介

與316L不銹鋼相兼容的液體或氣體。

產(chǎn)品規(guī)格如有變更，恕不另行通知。