電容式壓力變送器有一個可變電容的傳感組件，該傳感器是一個*封閉的組件，過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充硅油傳到傳感膜片引起位移，傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉換成4-20mA電流信號。
 

　　簡單的說，壓力引起電容的變化。其優點是可以做到極低壓力；抗過載能力強；精度高。缺點為高壓測量缺乏優勢；傳感器封裝工藝要求高。

　　擴散硅壓力變送器是根據被測介質的壓力直接作用于傳感器的擴散硅膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微小位移。正常狀態下，膜片大位移不大于0.025mm，電子線路檢測這一位移量后，即把這一位移量轉化成4-20mA信號。

　　簡單的說，壓力引起電阻的變化。超壓時膜片直接貼到堅固的擴散硅上，由于膜片和基體的間隙只有0.1mm，因此過壓時膜片的大位移也只有0.1mm，所以從結構上保證了膜片不會產生過大的變形，具有很好的穩定性和高精度。
 

　　擴散硅壓力變送器的優點是穩定性高，每年優于0.1%FS。溫度偏移小，由于取消了測量元件中的液體，因此傳感器能夠獲得很高的精度。價格便宜；不足之處為低于0℃或高于85℃難以正常使用；不能承受動態壓力；膜片易損壞；不適用20MPa以上的壓力。