我們知道地球大氣層上有一層臭氧層，科學家們已經發現臭氧層能吸收紫外線，研究表明臭氧僅對波長253.7nm的紫外線具有大吸收系數，在此波長下紫外線通過臭氧會產生衰減，符合蘭波特——比爾定律。該方法已被美國等國家作為臭氧標準分析方法。臭氧傳感器(O3傳感器)就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
臭氧傳感器是定電位電解型傳感器，臭氧在工作電極上的電化學氧化過程，通過電子線路將電解池的工作電極和參比電極恒定在一個適當的電位，在該電位下可以發生臭氧的電化學氧化或還原反應。由于氧在氧化和還原反應時所產生的法拉第電流很小，可以忽略不計，于是待測氣體電化學反應所產生的電流與其濃度成正比并遵循法拉第定律。這樣，通過測定電流的大小就可以確定待測氣體的濃度。
臭氧傳感器具有通訊和自診斷功能、安裝維護方便，典型的智能化現場監測儀表的先進性能得到了充分的展理，極大的滿足了工業現場安全監測對設備高可靠性的要求，廣泛應用于環境保護、試驗設備、醫療設備、化工醫藥等行業應用，極大地滿足了工業現場安全監測的要求。
