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微量氣體質(zhì)量流量計
微量氣體質(zhì)量流量計是采用世界的微機電系統(tǒng)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）。
微量氣體質(zhì)量流量計流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測量范圍zui大到5slpm;適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
微量氣體質(zhì)量流量計的產(chǎn)品特點：
專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設(shè)計;
支持多種連接方式，易于安裝與使用;
傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量;
在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高;
輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓;
零點穩(wěn)定度高;
全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復(fù)性;
低功耗、低壓損;
微量氣體質(zhì)量流量計響應(yīng)速度快;
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