是根據被測元素通過一定形式進入高頻等離子體中，在高溫下電離成離子，產生的離子經過離子光學透鏡聚焦后進人四極桿質譜分析器按照荷質比分離，既可以按照荷質比進行半定量分析，也可以按照特定荷質比的離子數目進行定量分析。該類型質譜儀主要由離子源、質量分析器和檢測器三部分組成，還配有數據處理系統、真空系統、供電控制系統等。

 

　　等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。等離子體是一種很好的導電體，利用經過巧妙設計的磁場可以捕捉、移動和加速等離子體。等離子體物理的發展為材料、能源、信息、環境空間，空間物理，地球物理等科學的進一步發展提新的技術和工藝。

 

　　NexION2000電感耦合等離子體質譜儀的譜線簡單,檢測模式靈活多樣：

 

　　（1）通過譜線的質荷之比進行定性分析；

 

　　（2）通過譜線全掃描測定所有元素的大致濃度范圍,即半定量分析,不需要標準溶液,多數元素測定誤差小于20%；

 

　　（3）用標準溶液校正而進行定量分析,這是在日常分析工作中應用的功能；

 

　　（4）同位素比測定是NexION2000電感耦合等離子體質譜儀的一個重要功能,可用于地質學、生物學及中醫藥學研究上的追蹤來源的研究及同位素示蹤。