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    NexION 300S ICP-MS 對光刻膠中的Si的分析
    
        			
    閱讀：1049      發布時間：2020-05-21
        				
    
							
				
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        				 使用ICP、ICP-MS分析時存在光學干擾，而儀器的結構又決定了Si的檢出限比其他元素更高，所以為了分析低濃度的Si，必須去除光學干擾或更換儀器進樣系統 ( 霧室、霧化器、中心管、炬管 )。
    本實驗的目的是利用NexION 的 DRC模式確定分析Si的好條件。 
    
                        
    
                            
    
                                
                                    
    
                                        
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                                        珀金埃爾默企業管理（上海）有限公司
                                        
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