無錫愛拓利電子科技有限公司
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MFC330氣體質量流量控制器
產品特性：
◆無可移動部件
◆支持多種通訊協議
◆容易安裝及維護
◆高精度、高穩定性、非常低的零漂
◆可控多種氣體
◆一體液晶顯示和按鍵操作
◆內置溫度和壓力傳感器
◆可控制氣體瞬時流量和累積流量
應用領域：
——分析儀器 ——生物技術
——激光焊機 ——真空鍍膜
——干刻（RIE/DRIE) ——氣相色譜分析
——過程自動化 ——燃料電池
技術參數：
流量規格： 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM
0~1、2、5、10、20、30、50SLPM
準確度： ±0.5%F.S.
重復精度： ±0.2%F.S.
流量控制范圍： 2%~99%F.S.
使用溫度： -20~65℃
使用濕度：0~98%（無凝露）
耐壓： 3Mpa
工作壓差：0~1Mpa
響應時間：<1s
供電電壓：15~40VDC
功率：<5W
通訊方式：RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
氣路部件材質：SUS304 SUS316L
密封件材質：氟橡膠
氣路接頭：快擰、快插、卡套、VCR
產品尺寸：
外接顯示器尺寸：
電氣連接： DB9
產品選型：
| Pin No. | CAN版 | RS232版 | RS485版 | 0~5VDC版 | 4~20mA版 |
| 1 | VCC | VCC | VCC | VCC | VCC |
| 2 | RX | Set | Iin+ | ||
| 3 | TX | Monitor | Iin- | ||
| 4 | Alarm | Alarm | Alarm | Alarm | Alarm |
| 5 | GND | GND | GND | GND | GND |
| 6 | Clear | Clear | |||
| 7 | CANH | A | Iout+ | ||
| 8 | CANL | B | Iout- | ||
| 9 | DGND | DGND | DGND | DGND | DGND |
產品選型：
例:MFC330_ RS485_300sccm _ 6mm快擰 _ S
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