Phasics利用其磚唎的四波橫向剪切干涉技術(shù)，在紫外波前測量提供了優(yōu)良的解決方案。SID4-UVHR波前傳感器有非常高空間分辨率（250x250測量點）和在190-400nm范圍具有高靈敏度（0.5 nm RMS）。因此，SID4-UVHR是*適用于光學元件的特性（用于光刻技術(shù)、半導體…）和表面檢查（透鏡和晶片…）。Phasics SID4-UVHR波前傳感器

詳細介紹

Phasics SID4-UVHR波前傳感器

Phasics利用其專·利（專·利號CN200780005898）的四波橫向剪切干涉技術(shù)，在紫外波前測量提供了優(yōu)秀的解決方案。它有非常高空間分辨率（345x275測量點）和在190-400nm范圍具有高靈敏度（0.5 nm RMS）。因此，SID4-UVHR是完·全適用于光學元件的特性（用于光刻技術(shù)、半導體…）和表面檢查（透鏡和晶片…）。由于它小巧，易于使用，能有效地適應各種實驗條件。

SID4-UVHR 光學器件測量自適應光學

特點：

由于其獨·特的專·利技術(shù)技術(shù)，Phasics的SID4-UVHR波前傳感器具備以下特點：

1.超高分辨率：250x250測量點

2.高靈敏度：0.5nm

3.通光孔徑大：8*8mm

4.直接測量：光學元件和表面質(zhì)量

應用：

SID4-UVHR紫外波前傳感器提供應用：

紫外激光器：光束測試與校正

光學測量：UV光學測試（半導體…）和表面測量

SID4-UVHR產(chǎn)品參數(shù)：

波長范圍	190 - 400 nm
通光孔徑	13.6 x 10.9 mm2
空間分辨率	40 µm
采樣點（相位/強度）	345 x 275
相位相對靈敏度	1 nm RMS
相位精度	10 nm RMS
動態(tài)范圍	~
采樣頻率	> 30 fps
實時分析頻率	3 fps (full resolution)
數(shù)據(jù)接口	Giga Ethernet
尺寸(w x h x l)	51 x 51 x 76mm
重量	~300 g