1、在使用抽真空充氣裝置時，先檢查真空泵的油位是否在油標中心位子，如缺油先要加入所需的油。插上電源，本設備使用的電源為380V三相50Hz，通電后，觀察電源指示綠燈是否亮，不亮說明相序不正確，撥動相序調整開關到“1"或“2"位置，電源指示綠燈亮，說明相序正確，然后點動真空泵，看真空泵的轉向是否與真空泵所示方向相符，再次予以確認。

2、SF₆設備抽真空充氣裝置系統原理圖如圖所示，首先將本裝置對外接口V₃、V₄任意一接口連接 SF₆氣瓶（如V₃球閥接氣瓶），另外接口與SF₆ 電氣設備連接（如V₄球閥連接SF₆ 電氣設備），使用時可靈活應用，連接好后，本裝置處于待運行狀態，具體操作順序分敘如下：                                              

設備抽真空工況；

首先要注意設備若為正壓（即表壓為零表壓以上），應先將管路中的氣體放空至設備壓力表的零表壓，再與本裝置連接，在打開相應的閥門，開啟真空泵，對SF₆ 電氣設備抽真空（假設管路密封性好，若管路有泄漏點需檢查并排除） ，打開V₂觀察真空計，直至真空度達到預定值時，抽真空結束。關閉相應閥門。