幾種常見真空泵的工作原理

幾種常見真空泵的工作原理

　　真空泵是在電磁力的作用下對被抽容器進行抽氣從而維持真空的裝置。真空泵平常廣泛的應用于低溫設備、造紙機械真空設備石油、礦山、地基處理等領域。不同的真空泵工作原理和用途也不盡相同。今天就給大家分享幾種常見真空泵的工作原理。

　　一、水環真空泵

　　由泵內的帶固定葉片的偏心轉子，將水拋向定子壁，水形成與定子同心的液環，液環與轉子葉片一起構成可變容積的一種旋轉變容積真空泵。旋片又分單級和雙級，原理是利用偏心轉子在泵腔內形成通過旋轉產生體積的變化而將氣體排出泵外，主要是在吸氣過程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內氣體吸入泵腔，在排氣過程中體積變小，壓強增大，終通過油封將吸入的氣體排出泵外。

　　二、羅茨真空泵

　　羅茨泵在泵腔內，有二個“8"字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有一定的間隙，可以實現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。

　　為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。

　　三、旋片真空泵

　　旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。旋片泵是真空技術中基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。

　　旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上