招標(biāo)東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院原子層沉積系統(tǒng)采購公開招標(biāo)公告

一、項(xiàng)目基本情況

項(xiàng)目編號：SEU-ZB-250655

項(xiàng)目名稱：東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院原子層沉積系統(tǒng)采購

預(yù)算金額：48.000000 萬元（人民幣）

采購需求：

電子科學(xué)與工程學(xué)院采購原子層沉積系統(tǒng)1套，主要技術(shù)要求如下：

①腔室：外熱式單腔腔室，真空環(huán)境下無加熱器，前驅(qū)體源不可以任何方式接觸加熱器，反應(yīng)腔室可放下最大8英寸晶圓；

②反應(yīng)溫度：最高不超過150℃，溫度控制精度±1℃,可以在≤100℃下制備SnO2；

③標(biāo)準(zhǔn)加熱液態(tài)前驅(qū)體源3路，配置swagelok高溫快速ALD閥（響應(yīng)時間＜10ms）、手動閥、50ml不銹鋼源瓶，源瓶及管路加熱溫度RT-200℃，控制精度±1℃。

合同履行期限：詳見采購文件

本項(xiàng)目( 不接受  )聯(lián)合體投標(biāo)。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；

2.落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求：

非專門面向中小企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性單位采購的項(xiàng)目。

3.本項(xiàng)目的特定資格要求：（1）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力（提供法人或者其他組織的營業(yè)執(zhí)照復(fù)印件）。（2）投標(biāo)供應(yīng)商須提供法定代表人授權(quán)書原件、法定代表人身份證復(fù)印件、授權(quán)代表身份證復(fù)印件和授權(quán)代表在公司內(nèi)近3個月內(nèi)的社保繳納證明（如果是法定代表人直接參與投標(biāo)的可以不提供授權(quán)書）。

三、獲取招標(biāo)文件

時間：2025年07月30日  至 2025年08月05日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京時間，法定節(jié)假日除外）

四、提交投標(biāo)文件截止時間、開標(biāo)時間和地點(diǎn)

提交投標(biāo)文件截止時間：2025年08月19日 14點(diǎn)30分（北京時間）

開標(biāo)時間：2025年08月19日 14點(diǎn)30分（北京時間）

地點(diǎn)：江蘇省南京市玄武區(qū)四牌樓2號東南大學(xué)微波樓304室

五、公告期限

自本公告發(fā)布之日起5個工作日。