招標西安電子科技大學高溫磁控濺射系統PVD公開招標公告

一、項目基本情況

項目編號：RH采字【20250301】號（XDH25009D）

項目名稱：西安電子科技大學高溫磁控濺射系統PVD

預算金額：390.000000 萬元（人民幣）

最高限價（如有）：390.000000 萬元（人民幣）

采購需求：

西安電子科技大學高溫磁控濺射系統PVD，1批。本次擬購置的高溫磁控濺射系統PVD具有以下要求：一是具有多個氣路和多個功率源模式，能夠實現多靶共濺射的工藝。二是具備傳送腔室，保障主工藝腔室具備長期的高真空氛圍，提高磁控濺射的效率。三是采用精度高的流量計，PID控制，鍍制的膜層雜質少，批次間薄膜重復性高，更加有利于對所鍍膜層的各項指標的研究。四是襯底溫度在室溫到800℃可調，可以實現高溫介質薄膜沉積。

合同履行期限：合同簽訂后240天內交付。,

本項目( 不接受  )聯合體投標。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：

本項目非專門面向中小企業。

3.本項目的特定資格要求：（1）法定代表人授權書（附法定代表人、被授權人身份證復印件）或法定代表人身份證明（法定代表人直接參加投標）合格有效；（2）不得被“信用中國”網站（www.creditchina.gov.cn）列入失信被執行人或重大稅收違法失信主體名單，不得被財政部門在中國政府采購網（www.ccgp.gov.cn）政府采購嚴重違法失信行為記錄名單中禁止參加政府采購活動(提供承諾）；（3）如為進口產品，投標人須提供投標產品的授權證明文件（證明文件能顯示產品制造商對所投產品的授權鏈條完整有效）。

三、獲取招標文件

時間：2025年07月24日  至 2025年07月31日，每天上午9:00至12:00，下午14:00至17:00。（北京時間，法定節假日除外）

地點：陜西省西安市曲江新區雁翔路3269號旺座曲江D座30層3001號

四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點

提交投標文件截止時間：2025年08月14日 09點30分（北京時間）

開標時間：2025年08月14日 09點30分（北京時間）

地點：陜西省西安市曲江新區雁翔路3269號旺座曲江D座30層3001號,

五、公告期限

自本公告發布之日起5個工作日。