招標介質膜厚儀（重新招標） 招標公告

招標編號：0722-254FE5297CQZ

項目名稱：介質膜厚儀（重新招標）

中國遠東國際招標有限公司受聯合微電子中心有限責任公司委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2025年 7 月 22 日發布招標公告。本次招標采用國際公開招標方式，現邀請合格投標人參加投標。

1. 招標條件

1.1 項目概況：全新介質膜厚儀1臺 。

1.2 資金到位或資金來源落實情況:已落實。

1.3 項目已具備招標條件的說明：已具備。

2. 招標內容

2.1 項目實施地點：重慶市沙坪壩區西園南街20號

2.2設備主要功能：

*1臺全新適用于8吋晶圓超薄介質膜厚量測的設備，型號要求為KLA  Aleris 8350 / 上海精測EFILM 210SS或者中科飛測LATI-900E及同等技術能力的行業主流品牌機型。（行業主流：在8吋或12吋晶圓制造領域中出貨量≥80臺，并提供采購合同、客戶聯系方式證據證明）

*若非上述3種機型, 供應商在與CUMEC前期評估階段需要響應CUMEC 提出的wafer量測驗證需求，量測驗證內容為技術標書中的工藝具體指標膜層（包括但不限于OX，SIN，Poly，Polyimide，PR，EPI ）。CUMEC以郵件形式告知應標供應商wafer 量測數據是否符合CUMEC技術標準，供應商應提供符合標準的郵件截圖等相關證據證明滿足此*條款，否者視為不滿足。

2.3交貨時間：自合同生效后4個月（包含設備裝機調試時間）。

3.投標人資格要求

3.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業登記等許可經營的證明文件。

3.2投標人所投產品如為國外進口產品，接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書；如為國產產品，不接受代理商投標，只接受原廠參與投標。

3.3本次招標不接受轉包、分包或聯合體投標。

3.4投標人未被列入其他同行業公司的黑名單，需提供自我聲明；

3.5投標人必須向招標代理機構購買招標文件并進行登記才具有投標資格；接受委托參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加投標。