招標東南大學電子科學與工程學院反應離子刻蝕機采購項目招標公告

一、項目基本情況

項目編號：0664-2540SUMECZF116

項目名稱：東南大學電子科學與工程學院反應離子刻蝕機采購

預算金額：350.000000 萬元（人民幣）

最高限價（如有）：340.000000 萬元（人民幣）

采購需求：

1、兼容8英寸及以下尺寸的晶圓片和不規則碎片；不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔室的開腔破真空；反應腔室由整塊鋁錠加工制成、無焊縫、低漏率，真空漏率≤ 2E-4 mbar·l/s；腔壁可加熱，反應腔內徑≥ 295 mm。

2、下電極為鋁制電極，由射頻源驅動；電極冷卻：水冷，配置有循環冷卻器，溫度控制范圍不小于+10到+80°C。

3、配置激光終點原位檢測裝置，激光終點檢測波長≥ 650 nm，測量速度≤ 1秒，帶X-Y電動位移，行程范圍≥ 20 mm × 20 mm；配置光發射譜（OES）終點檢測裝置，OES終點檢測裝置光譜范圍≥ 200-1000 nm，配置≥ 2000像素的CMOS探測器。

本項目接受進口產品。

本項目所屬行業：工業。

本項目(非專門)面向中小企業采購。

本項目(非專門)面向監獄企業采購。

本項目(非專門)面向殘疾人福利性單位采購。

最高限價：340萬元（境內外產品最高限價均為此限價，其中境外產品不含外貿代理費），超過最高限價的為無效投標文件

項目編號：0664-2540SUMECZF116（SEU-ZB-250495）

合同履行期限：境外產品：開具信用證后300天內設備安裝調試合格。境內產品：合同簽訂后300天內設備安裝調試合格。

本項目( 不接受  )聯合體投標。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：

無

3.本項目的特定資格要求：（1）如為進口產品，需提供有效的產品授權書。4.拒絕下述供應商參加本次采購活動：（1）供應商單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得參加同一合同項下的政府采購活動。（2）凡為采購項目提供整體設計、規范編制或者項目管理、監理、檢測等服務的供應商，不得再參加本項目的采購活動。（3）供應商被“信用中國”網站（www.creditchina.gov.cn）、“中國政府采購網"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被執行人、稅收違法黑名單、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單。

三、獲取招標文件

時間：2025年07月09日  至 2025年07月15日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京時間，法定節假日除外）

四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點

提交投標文件截止時間：2025年07月30日 14點00分（北京時間）

開標時間：2025年07月30日 14點00分（北京時間）

地點：南京市長江路198號蘇美達大廈輔樓301會議室

五、公告期限

自本公告發布之日起5個工作日。