【儀表網 儀表標準】電子探針顯微分析是微束分析技術中一個應用極為廣泛的領域，是通過各種材料或產品的微米尺度成份和結構分析來進行質量管理和質量檢驗的重要技術手段。電子探針顯微分析的物理基礎是基于高能電子與試樣相互作用激發 X 射線和 X 射線光譜學的原理。
在電子探針顯微分析技術發展和應用過程中，我國發布了《微束分析 電子探針顯微分析(EPMA)術語》GB/T 21636—2008/ISO 23833:2006。但隨著電子探針顯微分析技術的發展以及應用需求的不斷變更，原版標準以及不再完全適用于新情況。因此，國家標準化管理委員會決定對《微束分析 電子探針顯微分析(EPMA)術語》GB/T 21636—2008/ISO 23833:2006進行修訂。
本標準按照 GB/T 1.1-2020 《標準化工作導則 第 1 部分：標準化文件的結構和起草規則》 和 GB/T20000.2-2009《標準化工作指南 第 2 部分：采用國際標準》給出的規定起草。 本標準使用翻譯法等同采用 ISO 23833《微束分析 電子探針顯微分析 (EPMA) 術語》(英文版)第二 版。 本標準代替 GB/T 21636-2008《微束分析 電子探針顯微分析 (EPMA) 術語》。
新版標準定義了電子探針顯微分析實踐中使用的術語，包括一般概念的術語和按儀器、分析方法分類的特定概念的術語。適用于相關領域(SEM、AEM、EDX 等)的所有標準和實踐文件，用于定義通用術語。
按要求，新版《微束分析 電子探針顯微分析(EPMA)術語》將替代《微束分析 電子探針顯微分析(EPMA)術語》GB/T 21636—2008/ISO 23833:2006。
與 GB/T 21636-2008 相比，新版標準主要變化如下：
——增加了部分術語和定義；
——修改了部分術語的定義、對部分術語增加了新注解；
——刪除參考文獻[3]、[4]、[5]、[6]，并補充了新的參考文獻；
——增加了中文索引
電子探針顯微分析被廣泛應用在高技術產業、基礎工業、農業、冶金、地質、生物、醫藥衛生、環境保護、商檢貿易乃至刑事法庭等行業中。
電子探針顯微分析是一種用于定性和定量分析固態試樣(包括金屬、陶瓷、玻璃、礦物、聚合物、粉末等)中元素成分的現代分析技術，具有微米級的橫向和深度分辨能力，可廣泛應用在高技術產業、基礎工業、農業、冶金、地質、生物、醫藥衛生、環境保護、商檢貿易乃至刑事法庭等行業中。統一電子探針顯微分析術語，不僅有利于電子探針顯微分析技術的發展，也有利于各行各業開展分析工作。（詳情詳見附件）
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