【儀表網 工程快訊】原子力顯微鏡(atomic force microscope，簡稱AFM)利用微懸臂感受和放大懸臂上尖細探針與受測樣品原子之間的作用力，從而達到檢測的目的，具有原子級的分辨率。由于原子力顯微鏡既可以觀察導體，也可以觀察非導體，從而彌補了掃描隧道顯微鏡的不足。
近日，松山湖材料實驗室就原子力顯微鏡進行采購，用于4寸或6寸晶圓的表面缺陷形貌的自動化分析檢測，大樣品臺晶圓級原子力顯微鏡是目前半導體芯片領域檢測和研究的工具，它能夠快速獲得原子級高分辨的三維立體形貌信息，并且對局部微納米區域進行計量級別的尺度分析。具體信息如下：
項目編號：OITC-G210DY0046
項目名稱：松山湖材料實驗室原子力顯微鏡采購項目
采購方式：公開招標
預算金額：2,000,000.00元
采購需求：合同包1(原子力顯微鏡)
| 包號 | 采購內容 | 數量 | 是否允許采購進口產品 | 預算金額 （萬元） | 最高限價（萬元） |
| 1 | 原子力顯微鏡 | 1套 | 是 | 200 | 155 |
獲取招標文件時間：2021年04月12日至2021年04月19日，每天上午09:00:00至12:00:00，下午14:00:00至17:00:00(北京時間，法定節假日除外)方式：在線獲取
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：2021年05月08日 14時30分00秒(北京時間)；地點：廣東省東莞市莞城街道旗峰路莞城段200號1單元中天大廈602開標室
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