“微納結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測試儀”項(xiàng)目在天津啟動(dòng)

　　【儀表儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】3月15日，國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)“微納結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測試儀”項(xiàng)目在天津啟動(dòng)。該項(xiàng)目未來可實(shí)現(xiàn)對精密元器件“納米”級(jí)別的檢測，彌補(bǔ)人力識(shí)別檢測的不足，為天津先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展提供支撐。該項(xiàng)目共投資1448萬元，實(shí)施周期為3年。
 

 

　　“微納結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測試儀”項(xiàng)目由天地偉業(yè)技術(shù)有限公司牽頭，聯(lián)合清華大學(xué)、余姚舜宇智能光學(xué)技術(shù)有限公司、中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所、天津大學(xué)等8家單位共同承擔(dān)。

 

　　科學(xué)儀器設(shè)備是科學(xué)研究和技術(shù)創(chuàng)新的基石，是經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和國防安全的重要保障。但是目前，我國元器件測量依賴于進(jìn)口儀器設(shè)備。因此，我國將“微納結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測試儀”項(xiàng)目列入“國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃”，支持國產(chǎn)化高精度儀器研究和產(chǎn)業(yè)化。而目前天津正在重點(diǎn)打造人工智能、新能源新材料、生物醫(yī)藥等重點(diǎn)高科技產(chǎn)業(yè)，尤其是微納制造領(lǐng)域具有一定優(yōu)勢。
 

　　“微納結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測試儀”項(xiàng)目主要針對微納結(jié)構(gòu)與微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件動(dòng)態(tài)特性測試的需求，突破高信噪比時(shí)空調(diào)制和自動(dòng)調(diào)焦等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國產(chǎn)化的微納結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測試儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)與MEMS器件的振動(dòng)頻率、模式模態(tài)等特性測量分析以及典型缺陷識(shí)別。

 

　　項(xiàng)目完成后，將打破國外公司的技術(shù)壟斷，實(shí)現(xiàn)高性能關(guān)鍵部件國產(chǎn)化及微結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測試產(chǎn)品系列化，并在航空航天和民品MEMS研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域開展應(yīng)用開發(fā)與示范，實(shí)現(xiàn)儀器工程化和產(chǎn)業(yè)化推廣。
 

　　根據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前已有141個(gè)重大科學(xué)儀器專項(xiàng)落在企業(yè)，就是要在中國形成一批有世界競爭力的儀器企業(yè)，為國內(nèi)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供支撐力。
 

　　(資料來源：北方網(wǎng)、科技部、上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院)