【儀表網 儀表標準】近日，全國幾何量工程參量計量技術委員會發布《數字式激光球面干涉儀校準規范》征求意見稿，并面向全國的計量技術機構、科研院所以及相關的行業企業征求意見。
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該規范主要起草單位為中國科學院光電技術研究所、中國計量科學研究院、中國測試技術研究院。編寫中，引用了GB 2831-2009《光學零件的面形偏差判讀測試結果》、GJB/J 6221-2008《數字式激光平面干涉儀校準規范》、JJF 1100-2003《平面等厚干涉儀校準規范》、JJG 28-2000《平晶檢定規程》、JB/T 7401-1994《平面平晶 JJF 1001 通用計量術語及定義 JJF 1059 測量不確定度評定與表示》等文件中的相關內容。
數字式激光球面干涉儀主要用于球面光學元件面形誤差的測量。其基本原理是通過分析參考球面與被測球面產生的干涉條紋而獲得被測球面面形誤差信息，其檢測精度直接受到干涉儀誤差(參考面面形誤差、隨機 電子噪聲、環境振動及氣流擾動等)的限制。近年來，大量進口和國產的數字式激光球面干涉儀在光學制造行業尤其是國防工業領域投入使用。
根據可查閱到得相關資料顯示，國內外目前尚沒有關于數字式激光球面干涉儀的校準規范，僅存在數字式激光平面干涉儀的校準規范《GJB/J 6221-2008 數字式激光平面干涉 儀校準規范》。由于球面干涉儀與平面干涉儀之間在標準鏡的選擇、安裝與調整、光路結構、被測鏡的檢測與標定方法等方面存在極大的不同，其校準規范不能相互適用，經常出現不同用戶之間測量方法不統一、測量數據不吻合的問題，故十分有必要制定數字式激光 球面干涉儀的校準規范來規范和完善生產廠家和計量機構等在校準球面干涉儀時在校準項目、校準方法、校準器具的要求及技術要求和準確度等級等方面的表述。為了保證量傳 的準確性，有必要制定國家校準規范，保證量值的準確統一。
此外，遵從JJF1071-2010《國家計量校準規范編寫規則》的要求，此規范架構上包括封面、扉頁、目錄、引言、范圍、引用文件、概述、計量特性、校準條件、校準項目和校準方法、校準結果表達、復校時間間隔、附錄幾個部分。更多詳細情況請見附件。
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