【儀表網 儀表企業(yè)】北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司日前攜CS系列數字式氣體質量流量控制器參展國家“十二五”科技創(chuàng)新成就展。
大規(guī)模集成電路芯片制造的許多關鍵工藝例如刻蝕、PVD、CVD、擴散爐等工序都要求對工藝氣體的流量進行的控制，而氣體質量流量控制器是對氣體流量進行精密測量和控制的核心部件，在半導體設備中具有極其重要的作用。
在七星電子的CS系列產品問世前，中國大陸的半導體生產線所用的氣體質量流量控制器基本由國外產品所壟斷。一直以來嚴重制約了我國集成電路制造行業(yè)的良性發(fā)展。在國家02專項的支持下，項目團隊深挖市場需求，采用創(chuàng)新的傳感器設計，重視軟件開發(fā)，研制出CS系列數字產品，打破了我國集成電路裝備所需氣體質量流量控制器長期依賴進口的局面。
產品技術指標在潔凈度、小流量、準確度，響應時間、寬電源等方面達到了先進水平，并且在本土化服務等方面具備優(yōu)勢。產品已經在中芯、上海華虹宏力、北方微電子等大規(guī)模集成電路生產線和半導體設備上使用，取得了良好的效果，通過專項技術延伸已成功應用在光伏電池、LED、真空、石油化工等多個領域，為我國眾多行業(yè)提供了高水平的氣體流量控制解決方案。自產品推向市場以來，累計銷售近40000余臺，出口12000余臺，取得了良好的經濟和社會效益。
在展覽中，七星電子氣體質量流量控制器，同載人航天和探月工程、天河二號超級計算機、北斗導航系統(tǒng)、蛟龍?zhí)栞d人深潛器等戰(zhàn)略高技術產品一同展示，也體現了國家對大規(guī)模集成電路中的核心部件的重視。
