【儀表網 儀表研發】2016年5月5日，科技部在武漢組織召開了首批國家重大科學儀器設備開發專項項目“寬光譜廣義橢偏儀設備開發”（項目編號：2011YQ160002）綜合驗收會議。該項目由武漢光迅科技股份有限公司牽頭，華中科技大學為儀器開發技術支持單位，武漢新芯集成電路制造有限公司、武漢珈瑋光伏照明有限公司、武漢光電國家實驗室（籌）為應用開發單位，武漢頤光科技有限公司為產業化單位。
天津大學葉聲華院士、華東師范大學曾和平教授、中科院上海光機所周常河研究員、北京光學儀器廠駱東淼教授級高工等11名專家組成了本次會議驗收技術專家組，葉聲華院士任專家組組長。驗收會由科技部國家科技評估中心毛建軍副主任主持，湖北省科技廳條件處魏敏杰處長等出席會議。
項目負責人劉世元教授代表項目組對項目執行完成情況進行了詳細匯報。截止項目驗收時，研制完成寬帶消色差補償器、高精度雙旋轉補償器同步控制等核心部件與關鍵技術，開發出具有自主知識產權的寬光譜廣義橢偏儀設備4臺；獲授權發明3件，授權國內發明29件，軟件著作權8件，商標權1件。獲日內瓦發明獎金獎1項，發表SCI學術論文50篇；形成設計圖紙、工程工藝、軟件代碼等完整技術文檔各1套，質量和可靠性保障方案1套；建成中試生產線1條，銷售儀器產品2臺。
匯報結束后，專家組現場審閱了相關資料，隨后前往產業化單位武漢頤光科技有限公司考察了寬光譜廣義橢偏儀設備產品，對產品指標和性能進行了現場測試與考核，并就項目完成情況及產業化進展提出現場質詢。經認真討論，驗收專家組認為，該項目實施情況良好，完成了預期目標并達到全部考核指標，一致同意通過驗收。
橢偏儀是一種測量偏振光狀態改變的重要科學儀器，本項目研制的廣義橢偏儀（也稱穆勒矩陣橢偏儀）代表了橢偏儀高水平，可以測得一個44階的穆勒矩陣共16個參數，因而可以獲得更為豐富的測量信息。橢偏儀廣泛應用于材料光學常數、納米薄膜厚度及表面特性表征等基礎科學研究與納米制造相關產業，應用范圍涵蓋集成電路、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫藥、化學、電化學、光學薄膜等眾多領域。
（原標題：國家重大科學儀器設備開發專項“寬光譜廣義橢偏儀設備開發”順利通過項目綜合驗收）
