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    沈陽儀表院IC光刻精密紫外反光鏡

    儀表產(chǎn)業(yè) 2014年03月12日 10:13:53來源:?沈陽儀表院 6982
    摘要沈陽儀表院匯博光學公司經(jīng)過技術攻關,近期成功研制出精密紫外反光鏡新產(chǎn)品。

      儀表網(wǎng)訊    沈陽儀表院匯博光學公司經(jīng)過技術攻關,近期成功研制出精密紫外反光鏡新產(chǎn)品。該產(chǎn)品的設計制造難度很大,在2013年之前,國內處于空白,只能依賴進口。由于國內沒有競爭,進口產(chǎn)品的市場價格虛高。
     
      2013年我院匯博光學應行業(yè)發(fā)展及市場需求,組成了項目組,開展了專項研究。經(jīng)過一年的攻關,IC光刻應用的紫外反光鏡達到了非球面面型精度0.05mm、曝光所需波長反射率大于95%、耐高溫450度等關鍵技術指標。產(chǎn)品經(jīng)顧客試用,滿足應用要求。現(xiàn)已開始小批制造,以較高的性價比,及時方便的服務,受到行業(yè)內的歡迎。目前光學平臺貿(mào)易商Edmund也提出了合作的意向,有意在市場推廣應用。
     
      項目不僅在IC光刻應用精密紫外反光鏡產(chǎn)品取得了共性技術進步,在大口徑精密非球面加工和檢測技術、非球面耐高溫薄膜的鍍制等獲得技術突破,并將共性技術推廣應用在數(shù)字投影成像、機車照明燈等相關薄膜器件領域,促進了光學薄膜行業(yè)及各應用領域的行業(yè)技術進步。

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