【儀表網 行業標準】近日，由中國兵器工業標準化研究所 、中科院重慶綠色智能技術研究院 、中科院大連化學物理研究所 、電子科技大學等單位編制，TC103(全國光學和光子學標準化技術委員會)歸口的國家標準計劃《光學和光子學 微透鏡陣列 第4部分：幾何特性測試方法》征求意見稿已編制完成，現公開征求意見。
微透鏡陣列是陣列光學器件中一類重要的光學元件，以單個透鏡、兩個或多個透鏡陣列的形式，廣泛應用于三維顯示、與陣列光輻射源和光探測器相關的耦合光學、增強液晶顯示和光并行處理器元件。隨著科技不斷進步，有必要制定一套技術內容與國際接軌的國家標準，這樣既有利于推動我國微透鏡陣列行業規范有序發展，又能更好地促進相關貿易、交流和技術合作。GB/T 41869《光學和光子學 微透鏡陣列》就是在此背景下起草制定的，微透鏡陣列標準擬由以下幾個部分組成。
——第1部分：術語。目的在于通過定義微透鏡及其陣列的基本術語，促進微透鏡陣列產品的應用，有助于科研工作和行業從業者在共同理解的基礎上交流。
——第2部分：波前像差的測試方法。目的在于通過規范波前像差的測試方法，明確微透鏡的基本特性。
——第3部分：光學特性測試方法。目的在于通過確定光學特性重要指標的測試方法，為供貨方產品交付提供依據。
——第4部分：幾何特性測試方法。目的在于通過確定幾何特性重要指標的測試方法，為供貨方產品交付提供依據。
微透鏡陣列系列標準是對微透鏡術語、波前像差、光學特性和幾何特性測試方法的規范。本文件主要規定了微透鏡陣列幾何特性的測試方法，是在波前像差、光學特性之外，從結構特性的維度定義微透鏡另一特性的測量。
本文件規定了微透鏡陣列中微透鏡幾何特性的測試項目、測試裝置及設備、測試準備、測試原理及測試程序等內容。本文件適用于表面浮雕結構微透鏡陣列和梯度折射率微透鏡陣列。
測試項目：
測試項目包括：a) 間距和表面浮雕深度(矢高)；b) 物理厚度；c) 曲率半徑；d) 面形精度；e) 表面粗糙度；f) 填充因子。
測量準備：
微透鏡陣列的幾何特性的測量原則上與使用接觸式輪廓儀測量其他任意表面相似。典型的接觸式輪廓儀包括一個探針(用于物理接觸表面)和一個傳感器(把垂直運動轉化為電信號)。其他部件見圖 3，包括：電機和變速箱驅動的拾取組件，以恒定的速度將探針在表面上繪制；電子放大器，將探針傳感器的信號提升到有用的水平；用于記錄放大信號的設備或自動收集數據的計算機。
與微透鏡陣列表面接觸的探針部分通常是精密制造的金剛石尖端。由于微透鏡形狀限制，在某些陣列上探針端可能無法接觸谷底，使得測量結果失真或被過濾。探針壓力會對測量結果產生顯著影響。壓力過高可能會損壞陣列表面。壓力過低，探針無法可靠地與表面接觸。
接觸式輪廓儀應當盡可能遠離灰塵、振動和陽光直射等環境中使用，環境溫度保持在20°C±2°C 范圍內(無冷凝濕度低于 70%相對濕度)。最好用過濾的空氣吹表面，清除儀器表面的任何嚴重臟污。并使用合適的溶劑去除油或油脂。
在環境較差條件下進行測試，應充分考慮環境的影響。
測試報告：
測試結果應記錄在案，并應包括以下信息(如適用)：
a) 一般信息：
1)測試已按照 GB/T 41869.4-XXXX 執行；
2)校準日期、校準程序和校準不確定性評估；
3)測試日期；
4)測試機構的名稱和地址；
5)相關認證；
6)執行測試的個人的姓名；
b)被測微透鏡的信息：
1)微透鏡類型；
2)制造商；
3)制造商型號；
4)序列號；
c) 測試條件：
1) 使用測試方法；
2) 測試設備：
i)接觸表面輪廓儀;制造商和型號；
ii)千分尺；制造商和型號；
iii)白光干涉儀；制造商和型號
ⅳ)激光共焦顯微鏡;制造商和型號
ⅴ)顯微鏡；制造商和型號
3) 測量參數：
i)探針半徑；
ii)儀器速度；
iii)采樣頻率；
iv)采樣長度；
ⅴ)測量物鏡及目鏡倍率
4) 測量時的環境條件：
i)溫度；
ii)相對濕度。
d) 測試結果：
1)間距；
2)表面浮雕深度；
3)物理厚度；
4)曲率半徑；
5)面型精度；
6)表面粗糙度；
7)填充因子；
8)不確定表。
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