《靜態膨脹法真空標準裝置檢定規程》征求意見

　　【儀表網 儀表標準】根據總局下達的國家計量技術規范制修訂計劃，全國壓力計量技術委員會已完成《靜態膨脹法真空標準裝置檢定規程》的征求意見稿。為了使國家計量技術規范能廣泛適用和更具操作性，特向全國有關單位征求意見和建議。
 

　　JJG728-1991一等標準膨脹法真空裝置檢定規程1991年制定的，量傳原則依據的是JJG2022-1989真空計量器具檢定系統表。在1989版系統表中，是允許范圍外擴的，即標準裝置范圍比基準寬，工作用器具范圍比標準寬。這種量傳方式不符合目前現行有效的相關文件。
 

　　JJF 1002-2010《國家計量檢定規程編寫規則》和JJF 1001-2011《通用計量術語及定義》共同構成本規程制訂的基礎性系列規范。本規程的修訂主要參考了JJG728-1991《一等標準膨脹法真空裝置》國家檢定規程。
 

　　依據JJF 1002-2010《國家計量檢定規程編寫規則》，本規程在架構上包括：范圍；引用文件；術語和計量單位；概述；計量性能要求；通用技術要求；計量器具控制以及附錄等內容。
 

　　檢定條件：
 

　　1.測量靜態本底壓力的規管應提前安裝于裝置校準室上，裝置需要至少提前4h開啟，必要時，可提前進行烘烤。2.實驗用儀表需提前預熱，電容薄膜真空計需預熱12h以上。
 

　　環境條件：
 

　　a)環境溫度：(23±5)℃。b)相對濕度：大不于80%。c)裝置應放置于室內溫度比較均為穩定之處，應避免日光直射，并遠離熱源。d)應滿足所使用的相關儀器對環境條件的要求。
 

　　靜態本底壓力：
 

　　開展電離真空計校準的裝置，靜態本底壓力需要用電離真空計進行實驗；開展磁懸浮轉子真空計校準的裝置，靜態本底壓力需要用磁懸浮轉子真空計進行實驗；二者均為裝置開展項目的，任選其一進行實驗。
 

　　1.用電離真空計測量靜態本底壓力。a)按照裝置操作規范開啟真空系統，待真空系統運行正常后，開啟電離真空計。必要時，可對裝置校準室進行烘烤去氣，可對電離規管進行除氣。b)待裝置的殘余壓力達到預期值后，關閉校準室與分子泵之間的閥門，并開始計時。1min后，讀取電離真空計的壓力值。
 

　　2.用磁懸浮轉子真空計測量靜態本底壓力。a)按照裝置操作規范開啟真空系統，待真空系統運行正常后，啟動磁懸浮轉子真空計。必要時，可對裝置校準室進行烘烤去氣，若烘烤造成轉子磁化強度過低，可對轉子進行磁化處理。b)待裝置可進行實驗后，設置磁懸浮轉子真空計采樣間隔為30s，offset參數設置為0，記錄5min，取平均值作為磁懸浮轉子真空計的殘余阻尼。c)關閉校準室與分子泵之間的閥門，并用計算機持續記錄磁懸浮真空計示值(1~4)h，按照其線性擬合結果計算得到裝置校準室升壓率，并以150s的壓力升高值作為裝置靜態本底壓力。
 

　　檢定結果處理：
 

　　檢定合格的裝置，出具檢定證書；檢定不合格的裝置，出具檢定結果通知書，并注明不合格項目和內容。
 

　　檢定周期：
 

　　裝置檢定周期為5年。
 

　　本規程適用于壓力范圍(1×10-4~1×102)Pa的靜態膨脹法真空標準裝置(的首次檢定、后續檢定和使用中檢查。（更多詳情請見附件）