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    摘要本文件規定了半導體行業企業水和大氣污染物排放控制要求、監測和監督管理要求。

      【儀表網 儀表標準】根據《地方標準管理辦法》(國家市場監管總局第26號令)《上海市地方標準管理辦法》(上海市人民政府令第8號)規定,上海市地方標準《半導體行業污染物排放標準(征求意見稿)》,現面向社會廣泛征求意見,期限為2022年10月17日至11月16日。
     
      為貫徹《中華人民共和國環境保護法》《中華人民共和國大氣污染防治法》《中華人民共和國水污染防治法》《上海市環境保護條例》《上海市大氣污染防治條例》,引導半導體行業企業生產工藝和污染治理技術的進步和可持續發展,結合上海市的實際情況,對DB31/374-2006《半導體行業污染物排放標準》進行修訂。
     
      本文件于2006年11月1日首次發布,本次修訂為第一次修訂。本文件對DB31/374-2006的主要修訂之處如下:
     
      ——調整了水污染物排放標準的標準分級;將原第一類污染物兩個級別的排放標準調整為執行同一級別的排放標準,將原第二類污染物三個級別的直接排放標準調整為同一個級別;調整了大氣污染物排放標準的排放速率控制方式,將原來按不同排氣筒高度制定標準調整為執行同一標準;
     
      ——調整了污染物控制項目:增加了水污染物控制項目石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑、總鋅、總硼、總鈷、總錫、總鉈、綜合毒性;增加了大氣污染物控制項目氯氣、氰化氫、錫及其化合物、苯、苯系物、非甲烷總烴、顆粒物、氮氧化物;
     
      ——調整了部分污染物項目的排放限值;收嚴了懸浮物、化學需氧量、五日生化需氧量、總有機碳等10項水污染物項目的排放限值;收嚴了硫酸霧、氯化氫、揮發性有機物等3項大氣污染物的排放限值;
     
      ——增加了廠界大氣污染物控制點濃度限值;
     
      ——更新了部分污染物項目的測定分析方法。
     
      本文件參考GB/T 7466 水質 總鉻的測定;GB/T 7467 水質 六價鉻的測定 二苯碳酰二肼分光光度法;GB/T 7470 水質 鉛的測定 雙硫腙分光光度法;GB/T 7471 水質 鎘的測定 雙硫腙分光光度法;GB/T 7475 水質 銅、鋅、鉛、鎘的測定 原子吸收分光光度法;GB/T 7484 水質 氟化物的測定 離子選擇電極法;GB/T 7485 水質 總砷的測定 二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法;GB/T 7494 水質 陰離子表面活性劑的測定 亞甲藍分光光度法;GB/T 11893 水質 總磷的測定 鉬酸銨分光光度法等規程編制。
     
      本文件規定了半導體行業企業水和大氣污染物排放控制要求、監測和監督管理要求。本文件適用于半導體行業企業或生產設施的水和大氣污染物排放管理,以及建設項目的環境影響評價、環境保護設施設計、竣工環境保護驗收、排污許可證核發及其投產后的水和大氣污染物排放管理。本文件適用于半導體行業研發機構的水和大氣污染物排放管理。
     
      污染物監測一般要求:
     
      1.企業應按照有關法律、《環境監測管理辦法》和HJ 819等規定,建立企業監測制度,制定監測方案,對污染物排放狀況及其根據需要對周邊環境質量的影響開展自行監測,保存原始監測記錄,并公布監測結果。
     
      2.新建企業和現有企業安裝污染物排放自動監控設備的要求,按有關法律和《污染源自動監控管理辦法》的規定執行。
     
      3.企業應按照環境監測管理規定和技術規范的要求,設計、建設、維護永久性采樣口、采樣測試平臺和排污口標志。
     
      4.新建企業應在污染物處理設施的進、出口均設置采樣孔和采樣平臺;改(擴)建項目如污染物處理設施進口能夠滿足相關工藝及生產安全要求,則應在進口處設置采樣孔。若排氣筒采用多筒集合式排放,應在合并排氣筒前的各分管上設置采樣孔。
     
      5.實施執法監測期間,企業應該提供工況數據的證明材料。
     
      6.對企業排放廢水和廢氣的采樣,應根據監測污染物的種類,在規定的污染物排放監控位置進行,有廢水、廢氣處理設施的,應在處理設施后監控。根據企業使用的原料、生產工藝過程、生產的產品、副產品等,確定需要監測的污染物項目。
     
      達標判定要求:
     
      采用手工監測時,按照監測規范要求獲得的監測數據等于或者小于排放濃度限值時為達標排放。
     
      采用自動監測時,按照監測規范要求獲得的有效小時均值等于或者小于排放濃度限值時為達標排放。
     
      若同一時段的手工監測數據與自動監測數據不一致,優先采用手工監測數據。
     
      實施與監督:
     
      1.本文件由市和區生態環境主管部門負責監督實施。
     
      2.企業是實施排放標準的責任主體,應采取必要措施,達到本文件規定的污染物排放控制要求。未遵守本文件規定的措施性控制要求,屬于違法行為的,依照法律法規等有關規定予以處理。
     
      3.現有企業在本文件實施之日起180d內完成達標判定,制定達標規劃,在過渡期內完成達標治理。VOCs治理設施應符合國家和地方安全控制要求,在開停車等非正常排放、事故排放等工況下,確因安全控制短期需要難以滿足本文件要求,應及時向所屬生態環境行政主管部門報告。

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