【儀表網 儀表標準】近日，國家空氣凈化產品及氣體檢測儀器質量檢驗檢測中心(江蘇)申請的一項地方標準《微機電系統半導體氣體傳感器檢測方法》獲得江蘇省市場監督管理局立項。蘇州市計量測試院作為江蘇省納米技術標準化技術委員會秘書處單位，該標準也是委員會成立以來首個推薦成功立項的標準。
基于微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)工藝的半導體氣體傳感器技術是目前半導體氣體傳感器發展的趨勢，它既有傳統半導體氣體傳感器高靈敏度、低成本、敏感材料多樣性的優勢，又具有體積小、功耗低的特點，可以更好地適用于小型化和微型化器件的大規模生產，能夠有效提升傳感器的實用性。
本標準將進一步促進MEMS半導體氣體傳感器產品質量的提升，提高產品市場認可度，推進行業健康快速發展。今后，國家質檢中心將持續提升檢測能力和技術水平，圍繞產業需求，提供NQI一站式服務，為潔凈產業和氣體檢測相關產業的高質量發展做好技術支撐工作。
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