JIB-4000PLUS 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。 被加速的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后，能對樣品表面進行SIM觀察 、研磨、及碳和鎢等沉積。還可以為TEM制備薄膜樣品，為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。 該設備能配置3D觀察功能、自動TEM樣品制備功能，能對應多種制樣需求。
高性能FIB鏡筒
JIB-4000PLUS采用高性能的FIB鏡筒，離子束流高達 60 nA，可以擴展到90nA大束流（為可選件），能進行快速研磨。大電流下的快速加工尤其適合于大面積的研磨，100 μｍ以上的大截面也可以在短時間內(nèi)制成。
圖1 100μm 直徑焊料凸塊的截面制備和截面觀察
用戶友好的FIB裝置
JIB-4000PLUS高性能的 FIB鏡筒具有出色的可操作性，外觀和GUI設計都很友好。 即使沒用過FIB也能夠輕松操作； 此外，該裝置小巧緊湊為業(yè)界最小體積，安裝場所的選擇范圍很大。
雙樣品臺
JIB-4000PLUS標配的塊狀樣品馬達驅動樣品臺可供塊狀樣品使用，此外還可以增配側插式測角臺（TEM用Tip-on 樣品架可以直接插入）。側插式測角臺與JEOL的TEM系統(tǒng)通用，這樣，F(xiàn)IB加工和TEM觀察的反復交替就能很容易地進行。
3D觀察功能
為了進行3D觀察，設備標配連續(xù)切片截面觀察功能。JIB-4000PLUS雖然是單束FIB，但是可以通過SIM像進行3D觀察。用3D重構軟件，可以將收集到的截面圖像重建為3D圖像，可以從各種角度顯示3D圖像。
圖2 CCD imaging center 的3D重構圖
自動TEM制樣功能
自動TEM制樣功能 "STEMPLING" 是選配件。有了這個功能，制樣不需要有很高的技能，任何人都能簡單地制樣，也可以對多個樣品自動制樣，提高工作效率。
圖3 自動TEM制樣功能 (STEMPLING) 的加工例 樣品：焊料
豐富的附件
有各種附件可用來支持JIB-4000的操作。包括對電路修改應用特別有效的CAD導航系統(tǒng)，對特殊形狀加工有效的矢量掃描系統(tǒng)等。通過給JIB-4000安裝適當?shù)母郊撓到y(tǒng)可以支持樣品制備以外的應用。
| 離子源 | Ga （鎵）液態(tài)金屬離子源 |
| 加速電壓 | 1～30ｋV |
| 放大倍率 | ×60 （用于視場搜索） ×200～×300,000 |
| 圖像分辨率 | 5 nm (30 kV) |
| 束流 | 60 nA (at 30 kV)， 90nA(at 30kV)option |
| 可變光闌 | 12 檔(馬達驅動) |
| 離子束加工形狀 | 矩形、線狀、點狀 |
| 樣品臺 | 塊狀樣品用 5 軸測角樣品臺 X:±11 mm Y:±15 mm Z:0.5 ～ －23 mm T:－5 ～ ＋60° R:360°無限 樣品尺寸: 28 ｍｍφ（高度13 ｍｍ）、50 ｍｍφ（高度2 ｍｍ） |
