手動閥式質量流量控制器

V10FC-M/HC型MFC外觀圖

產品簡介

   V10FC手動閥式MFC適用于浮子流量計不能勝任的應用，具有更高的精度和流量/壓力/溫度顯示和輸出功能。
   V10FC手動閥式采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID調節功能。
   顯示器、鍵盤、通訊和多變量輸出均是標準配置，具有手操器/顯示儀/積算儀的全部功能。通過面板操作，可以完成以下內容：氣體選擇、單位選擇、量程設定，報警點設定，閥門狀態、自動校準等。
   與熱式流量計不同，當使用氣體轉換系數時，V10FC手動閥式沒有附加的“比熱容”誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同，也不會影響測量精度。


產品應用

產品廣泛用于真空,鍍膜,太陽能,半導體,石油石化,煤炭冶金,制氣配氣,環保及各種分析儀器等。

V10FC-M/HM型MFC外觀圖

產品特點

● 手動閥控制流量、操作簡單、高精度
● 便于密集安裝
● 模擬條碼顯示
● 精確測量和控制氣體的質量流量
● 多種氣體可選,也可自行輸入
● 多變量輸出,流量、壓力、溫度報警
● 自動累計、分段累計功能

技術指標

V10FC-S質量流量控制器

量程范圍

小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM

控制范圍

100：1

準 確 度

流量：±0.8%讀數±0.2%滿量程

可選±0.4%讀數±0.2%滿量程

壓力：0.5%F.S 溫度：±1℃

線 性

±0.5%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時間

10ms

數 字 量

RS232/485，MODBUS協議

模 擬 量

0～5V、4～20mA、1～5V

供電

12V/24V/±15V可選

工作溫度

0～50℃

工作壓力

工作壓差：0.03～0.5MPa

工作壓降：<0.01Mpa

耐壓

1MPa

電氣連接

DB15孔

漏 率

1×10-9SCCSHe

溫度系數

±0.015%F.S/℃

底座材質

低銅鋁合金

密封材料

氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠

接 頭

VCR1/4;swagelokφ6