氣體質(zhì)量流量計(jì)，是用于精確測量氣體流量的專業(yè)儀表，在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著作用。其工作原理主要基于熱式測量原理。以常見的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)為例，典型傳感元件包含兩個熱電阻其中一個作為速度傳感器，被加熱到高于環(huán)境溫度的恒定溫度；另一個是用于感應(yīng)介質(zhì)溫度的溫度傳感器。當(dāng)氣體流經(jīng)速度傳感器時，會帶走部分熱量，致使傳感器溫度降低。為維持溫度恒定，需增加通過傳感器的工作電流，而增加的電流大小與氣體流速成正比，進(jìn)而通過測量熱傳遞量計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量。這種方式無需溫壓補(bǔ)償，就能直接得出氣體的質(zhì)量流量。
可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)測量，精度通常能達(dá)到 ±1% 的讀數(shù)甚至更高，為實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)過程提供可靠數(shù)據(jù)支持。比如在化學(xué)氣相沉積實(shí)驗(yàn)中，對反應(yīng)氣體流量的精準(zhǔn)控制，確保了薄膜生長的均勻性與成分精確性，誤差可控制在極小范圍內(nèi)。
流量調(diào)節(jié)范圍廣，從極低流量的 mL/min 級別，到較大流量的 L/min 區(qū)間，均能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定且精準(zhǔn)的流量調(diào)控，滿足不同場景下對氣體流量的多樣需求。
測量數(shù)據(jù)基本不受溫度、壓力變化的干擾，在復(fù)雜多變的實(shí)驗(yàn)條件或工業(yè)環(huán)境中，依然能夠穩(wěn)定輸出準(zhǔn)確的氣體質(zhì)量流量數(shù)據(jù) 。
在氣體流經(jīng)流量計(jì)時，產(chǎn)生的壓力損失極小，減少了對整個氣體傳輸系統(tǒng)壓力的影響，保證系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行。能夠?qū)Χ喾N氣體，如高爐煤氣、焦?fàn)t煤氣、空氣、氮?dú)狻⒁胰病錃狻⑻烊粴狻⒍趸肌⒀鯕獾冗M(jìn)行流量測量，應(yīng)用場景廣泛。
在化學(xué)與材料科學(xué)領(lǐng)域，用于氣相沉積實(shí)驗(yàn)控制反應(yīng)氣體流量，保障薄膜質(zhì)量；在生物與醫(yī)學(xué)研究中，精準(zhǔn)供給細(xì)胞培養(yǎng)所需氣體，維持細(xì)胞生長環(huán)境；在環(huán)境科學(xué)與能源研究方面，采集空氣樣品時控制流量，助力大氣污染物監(jiān)測等 。
石油和天然氣行業(yè)中，用于測量原油、精煉油、油氣和液化氣等的質(zhì)量流量，保障產(chǎn)品質(zhì)量與安全生產(chǎn)；化工行業(yè)內(nèi)，在加熱、冷卻、混合、反應(yīng)等化工過程里，測量各種氣體、液體、蒸汽的質(zhì)量流量，確保化工過程穩(wěn)定 ；食品和飲料行業(yè)，在食品生產(chǎn)、加工、包裝過程中，對食品原料及包裝氣體進(jìn)行流量控制；制藥行業(yè)，用于測量藥液質(zhì)量流量，實(shí)現(xiàn)制藥過程自動化控制，保障藥品質(zhì)量 。
