典型應(yīng)用：顯微成像、晶圓切割、微電子精密加工、物鏡調(diào)焦及掃描、可更換不同的物鏡接口。
納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣泛，從原子力顯微鏡、精密光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備到各種*行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產(chǎn)生和測量優(yōu)于納米（nm）的位移，整個系統(tǒng)包含3部分：納米位移臺、控制器和控制軟件。
納米位移臺是一種機(jī)械裝置，內(nèi)部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動。三英設(shè)計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運(yùn)動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內(nèi)置精密傳感器，閉環(huán)控制時，三英的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下，可以實(shí)現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。
控制器為納米位移臺提供電源。在閉環(huán)控制時，納米位移臺內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)。控制器周期性的處理位移數(shù)據(jù)并修正輸出電壓信號，從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。
三英提供簡單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個部件，因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當(dāng)重要的。三英控制器對外通信方式有多種，常用的方式是通過BNC模擬信號（-10V~10V）控制納米位移臺的位移。還可以通過USB接口和數(shù)字IO實(shí)現(xiàn)與控制器的通信。三英控制器內(nèi)部軟件實(shí)現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制，內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。
如有客戶需求，三英可以對納米位移運(yùn)動控制系統(tǒng)進(jìn)行量身定制，以提供及時、滿意的技術(shù)支持與服務(wù)。
納米定位平臺 納米位移臺 柔性鉸鏈平臺 電控位移臺 高精度電控位移臺 精密滑臺 壓電平臺 壓電納米臺 納米壓電平臺 納米定位臺 壓電柔性鉸鏈平臺 壓電掃描臺 壓電定位臺 壓電納米定位臺 超低溫納米定位臺
| 型號 | NS-Z100-01 |
| 運(yùn)動軸 | Z |
| 傳感器類型 | 電容式 |
| 閉環(huán)行程( μm ) | 100 |
| 閉環(huán)分辨率( nm ) | 0.5 |
| 線性度( % ) | 0.05 |
| 無負(fù)載下諧振頻率( Hz ) | 800 |
| 端口 | D-sub15 |
| 材料 | 鋁合金 |
| 負(fù)載( kg ) | 2 |
| 自重( kg ) | 0.28 |
| 尺寸( mm ) | Φ65.5 x 52.5 |
| 適配控制器 | SC100-A/SC300-1/SC400-1 |
注：閉環(huán)分辨率與帶寬有關(guān)。
NS-Z100-01尺寸圖
