微型氣體質(zhì)量流量控制器是專門為各類小流量氣體的測量和控制而設(shè)計(jì)的。該系列 的傳感器均采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，結(jié)合數(shù)字信號(hào)處 理技術(shù)和流量控制算法，實(shí)現(xiàn)對各類氣體流量大小的精準(zhǔn)控制和智能化處理。
應(yīng)用領(lǐng)域：航空航天、半導(dǎo) 體加工、醫(yī)療生物、電子汽 車、鋼鐵冶金、船舶電子、 工業(yè)制氣等行
業(yè)。
二，產(chǎn)品特點(diǎn)
采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片 ，旁路分流器和電磁比例閥設(shè)計(jì)而成，傳感 器具有高精度，抗干擾性強(qiáng)特點(diǎn) ，分流器的旁路流體成層流狀態(tài)，從而使測量和控 制更加穩(wěn)定和精準(zhǔn)。電磁比例閥具有使用壽命長，靈敏度高等特點(diǎn)。
★ 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定。
★ 量程范圍內(nèi)精度高，重復(fù)性好。
★ 響應(yīng)時(shí)間快。
★ 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口，安裝方便。
★ RS485通訊輸出，標(biāo)準(zhǔn)MODBUS RTU協(xié)議。
★ 采用LCD顯示瞬時(shí)流量和累計(jì)流量，清晰直觀，讀數(shù)方便，可通過按鍵輸入控制流 量，在液晶屏上直接顯示控制流量和實(shí)時(shí)流量值
★ 標(biāo)配4-20mA 輸入輸出控制。
★ 可定制0-5V 或者0-10V 輸入輸出控制
三，技術(shù)參數(shù)
| 工作電源 | DC24V/6W |
| 精度(%) | 控制精度： ±1.0% SP，測量精度0-50L/min 1%fs 大于50L/min 1.5fs% |
| 控制和測量量 程比 | 1： 100 |
| 閥類型 | 常閉型 |
| 工作溫度 | -10~55℃ |
| 濕度 | <95%RH(無結(jié)霜，無結(jié)冰) |
| 工作壓力范 圍 | 測量：0-1.5MPA 控制： 100SCCM-30SPLM 壓力：0.1-1.0MPA 100SPLM 壓力：0.1-0.65MPA 300SPLM 壓力：0.1-0.5MPA |
| 典型的控制 響應(yīng)時(shí)間 | 小于1S （T90） |
| 測量響應(yīng)時(shí) 間 | <50mS |
| 輸出方式 | 4-20mA 或者1-5V |
| 通訊方式 | RS485(Modbus Rtu協(xié)議) |
| 控制方式 | 按鍵操作,Modbus,4-20mA(1-5V)，可定制0-5V |
| 機(jī)械連接 | G1/4, PT1/2 內(nèi)螺紋 |
| 防護(hù)等級(jí) | IP40 |
備注：以上數(shù)據(jù)為在25℃ , 101.32kPa,干燥空氣下測得 其他特性
| 可選擇標(biāo)況溫 度條件 | 0°, 20°, 25°,用戶可調(diào)，默認(rèn) 25° |
| 可選擇氣體類 型 | Air, N2, O2, CH4, Ar, CO2, He, H2 ，C3H8 |
| 工作壓差 | 50 SPLM 0.1MPA -0.7MPA 100SPLM 0.1MPA-0.6MPA 300SPLM 0.1MPA -0.4MPA |
