【產(chǎn)品簡介】
PRB系列白光干涉三維形貌儀是采用國外的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級形貌測量儀器，透過精密的掃描系統(tǒng)和自主的解析算法，進(jìn)行樣品表面微細(xì)形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的結(jié)合，只需數(shù)秒鐘，就能觀測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測量結(jié)果。
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐，具有出色的穩(wěn)定性。測量過程簡便而快速，只需把被測物體放置到載物臺，聚焦出干涉條紋，按下測量按鈕即可開始整個測量過程。
標(biāo)準(zhǔn)配置采用五軸手動調(diào)整載物平臺，可依據(jù)不同測試要求做彈性調(diào)整，并可選配電動載物平臺，以實現(xiàn)自動定位、自動聚焦、自動縫合之大面積高精度的量測要求，樣品均不需前處理即可進(jìn)行非破壞、高精度、快速的表面形貌測量和分析。
【系統(tǒng)構(gòu)成】
☆ 光學(xué)照明系統(tǒng) 采用鹵素光源、中心波長為576nm、光譜范圍340nm—780nm
☆ 光學(xué)成像系統(tǒng) 采用無限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng)、由顯微物鏡和成像目鏡組成
☆ 垂直掃描系統(tǒng) 采用閉環(huán)反饋控制方式驅(qū)動顯微物鏡垂直移動、移動范圍100-1000μm、位置移動精度 0.1nm
☆ 信號處理系統(tǒng) 計算機(jī)和數(shù)字信號協(xié)處理器組成、采集系列原始圖像數(shù)據(jù)使用專用數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析
【工作原理】
白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
【技術(shù)特點】
白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
【使用特點】
? 非接觸、高穩(wěn)定性、高速度測量
? 高精度測量 結(jié)果可作為計量標(biāo)準(zhǔn) 垂直解析度可達(dá)0.1nm、水平解析度可達(dá)0.1um
? 大面積測量 自動縫合技術(shù)實現(xiàn)大面積高精度測量
? 功能強(qiáng)大 使用便捷的測量分析軟件 PRVision應(yīng)用軟件可提供多項測量參數(shù)
? 適用范圍廣泛 可以測量多種類型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu)
? 真正意義的免維護(hù)及優(yōu)良的性能價格比
【性能參數(shù)表】
【光學(xué)規(guī)格表】
【應(yīng)用領(lǐng)域】
在眾多高科技研發(fā)及產(chǎn)業(yè)中，諸如半導(dǎo)體、微機(jī)電、平面顯示器、電子封裝及光學(xué)加工等，由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定產(chǎn)品的功能和效能，在其制成過程中皆需針對微結(jié)構(gòu)的表面輪廓品質(zhì)進(jìn)行檢測，PR系列產(chǎn)品提供多種表面參數(shù)量測功能如斷差高度、線寬、面積、體積、粗糙度、薄膜厚度及平整度等以滿足業(yè)界及研究部門之需求。無論是拋光表面還是粗糙表面，只要反光率超過1%，就能被檢測出來。
半導(dǎo)體硅片及器件
MEMS裝置表面
平面液晶顯示器
薄膜厚度
金屬摩擦學(xué)學(xué)
陶瓷基板表面
光學(xué)器件表面
其他材料分析及微表面研究
【測量實例】
【功能介紹】
1、硬件控制、二維載物平臺自動控制、光學(xué)系統(tǒng)自動聚焦、干涉信號處理
2、測量結(jié)果顯示及各種方式處理
3、二維平面和三維立體顯示
任意放大或縮小顯示圖像
調(diào)平和多角度自由旋轉(zhuǎn)
4、粗糙度測量及結(jié)果顯示
包括評價區(qū)域位置信息和多種粗糙度評價參數(shù)
5、線寬測量及結(jié)果顯示
采用亞像素插值處理技術(shù)，線寬測量精度可達(dá)0.1um
表格形式顯示各種線寬結(jié)果
根據(jù)事先確定的評判基準(zhǔn)，實現(xiàn)線寬自動評判功能
6、多幅相鄰區(qū)域測量結(jié)果自動縫合
【顯示界面】
【設(shè)定界面】
