TL1200-Mini-C 單溫區CVD系統
CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統 ，溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統是由3路供氣系統+TL1200-Mini管式爐+真空系統組成
TL1200系列管式爐
這款管式爐以瑞典康泰爾電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30 段程序控 溫系統，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁 多晶纖維材料，爐膛分為上下兩個半圓，需要急 速冷卻或換管子時，可以打開爐膛，雙層爐殼間 配有風冷系統，能快速升降溫，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫速率快、節能等優點，是高校、科研院所、工礦 企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD 實驗、真空退火用的理想產品。
組件配置：
一、控溫儀表：采用宇電程序控溫儀表
1、30段程序控溫智能PID調節。
2、具有過溫保護、斷偶保護，過溫或斷偶時電爐加熱電路會自動切斷，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。
3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）
4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。
5、儀表具有溫度自整定的功能。
二、開蓋保護系統：該爐安裝有行程開關，當爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者的安全。
三、爐膛材料：采用多晶莫來纖維爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強。
四、加熱元件：采用世界上加熱元件 瑞典Kanthal A1電阻絲， 溫場均衡、使用壽命長。
大部分廠家使用的首鋼生產的Fe-Cr-Al 有時候電阻不均衡、一部分發熱量大一部分發熱量小 此圖為首鋼生產的電阻絲加熱時的狀況，發熱不均勻 |
Kanthal 溫場效果好 此圖為我公司爐子配套的瑞典康奈爾的電阻絲加熱時的狀況，發熱均勻，溫場效果好 |
五、漏電保護功能： 該爐裝了漏電空氣開關，當爐體漏電或電流超過額定電流時空開會自動關閉以切斷電源。
六、控制系統：1、電器：正泰。 2、可控硅：德國西門空106/16E。 3 觸發器：移相觸發。
七、氣路系統： 快速拆卸連接法蘭結構；密封法蘭采用雙環密封技術；真空度：≤2X10-2Pa（配套高真空系統）。在雙環O型密封圈中有一個不銹鋼O型圈進行擠壓密封、拆卸方便、可重復拆卸，氣密性好、可保證冷態時12小時壓力表指針不偏轉。
雙環密封結構分體結構圖 |
快速拆卸連接法蘭結構 |
八、不銹鋼支撐架：兩端配套不銹鋼氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力，杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。
各種規格尺寸：
型號 | TL1200-I |
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功率 | 1.5 | 1.5KW |
爐管尺寸（OD）(mm) | Dia 25（OD）X600 | Dia50（OD）X600 |
外形尺寸 | 680X328X428 | 680X328X428 |
加熱元件 | 瑞典Kanthal | |
電源電壓 | 220V | |
相數 | 單相 | |
控制精度 |
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觸發器 | 過零觸發 | |
電器 | 浙江正泰 | |
可控硅 | 106/16E 德國西門康 | |
溫度 |
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額定溫度 |
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升溫速率 |
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推薦升溫速率 | ≤15 | |
熱電偶型號 | K型 | |
加熱段長度 | 200mm | |
四周表面溫度 | ≤45℃ | |
開蓋保護系統 | 當爐蓋打開時繼電器會自動切斷主電源，有效地保證使用者的安全。 | |
VS-0.1低真空系統
產品描述：
該系統是一款低真空機組，可以使管式爐爐管內的真空度達到1Pa以下，該系統由法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、波紋管、支架、真空泵等組成，在法蘭出氣嘴處接有四通管，四通管分別接電阻硅，高真空擋板閥、閥門和法蘭，用Dia25的波紋把真空擋板閥和真空泵連接起來，連接口用KF25快捷卡箍。
技術參數：
1.真空泵型號 ：FX-16 2.真空泵抽速：16（4）m3/h(L/s)
3.真空泵極限壓強（Pa)：≤4X10-2 4.高真空擋板閥：KF25
5.波紋管：KF25X1000 6.真空計VRD-I：規管型號：ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規
7.電源：220V電壓 0.8KW功率 8.真空泵的出氣口和抽氣口均為：KF25
9.擋板閥：高真空專用不銹鋼閥門 10.連接口：兩個KF25接口
系統】多路質量流量計控制供氣系統
產品描述：
該系統是一款可以控制多種氣體按不同流量進行混合配比的供氣系統，氣體從鋼瓶出來，經過減壓閥減壓，通過管道到供氣系統的入口，再經過質量流量計控制氣體流量，然后經過混氣罐，再進入爐子進氣口?；鞖夤奚辖佑袎毫Ρ恚瑝毫Ρ盹@數盤與質量流量計顯示板安裝在同一面板上，每一條氣體管路均有一個高壓截止閥。各通道氣體流量設定和狀態顯示都集中在PLC觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數據。
技術參數：
氣路通道：多通道（可根據客戶需要確定） 2.氣體類型：客戶可以根據自己的要求任意選擇氣體。
3.流量計標準量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(可以任意選擇量程)
4.工作電壓：220V 50HZ 5.工作溫度：5-45℃ 6.工作壓差：0.1~0.5MPa
7.壓力：3MPa 8.準確度：±1.0%F.S. 9.質量流量計相應時間：1S
10.測量范圍：0.1MPa-0.15MPa 11.混氣罐：304不銹鋼 12.進出氣接口：采用Φ6不銹鋼卡套接頭
13.管道：內部管道為6mm不銹鋼管 外部管道為6mm聚四氟管 14.尺寸：650X650X650mm
15.控制面板：每路氣路設定和查看都集中在PLC觸摸屏上可通過PLC設定每個通道的氣體流量，實時查看各通道的流量曲線和設定數據
