| 主要特性 | AWM42150VH | AWM42300V | AWM43300V | AWM43600V |
| 流量范圍（滿量程） | ±25 sccm | ±1000 sccm | +1000 sccm | +6 SLPM |
| 輸出電壓@標定點 | 8.5mV±1.5mV @25 sccm | 54.7mV±3.7mV DC @1000 sccm | 5V±0.15VDC @1000 sccm | 5V±0.15VDC @6 SLPM |
| 零點電壓 | 0.0±1.0mVDC | 0.0±1.5mVDC | 1.0±0.05VDC | 1.0±0.05VDC |
| 零點電壓漂移，典型值 | ±0.20mVDC | ±0.20mVDC | ±0.025VDC | ±0.025VDC |
| 輸出電壓漂移，值 | ±2.5% Reading 典型值 | ±2.5% Reading 典型值 | ±6.0%Reading 典型值 | ±6.0%Reading 典型值 |
| 功耗（mW） | 60（值） | 60（值） | 60（值） | 75（值） |
| 重復性&遲滯 | ±0.35% Reading | ±0.50% Reading | ±0.50% Reading | ±1.0% Reading |
| 壓降@滿量程（英寸水柱） | 0.008（典型值） | 1.02（典型值） | 1.02（典型值） | 8.0（典型值） |
| | 最小值 | 典型值 | 值 | 單位 |
| 激勵電壓（VDC） | 8.0 | 10.0±0.01 | 15 | VDC |
| 響應時間 | | 1.0 | 3.0 | ms |
| 標定氣體 | | 氮氣 | | |
| 比率誤差 | | ±0.3%讀數 | | |
