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    • EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統 EVG鍵合機2

    EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統 EVG鍵合機2

    參考價
    面議
    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地上海
    • 更新時間2024-06-20
    • 廠商性質其他
    • 所在地區上海
    • 實名認證已認證
    • 產品數量100
    • 人氣值993
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    EVG鍵合機應用:全自動將臨時晶圓晶圓鍵合到剛性載體上一、簡介全自動的臨時鍵合系統(晶圓鍵合機)可在一個自動化工具中實現整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加,烘焙,將設備晶圓與載體晶圓的對準和鍵合開始
    EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統 EVG鍵合機2 產品詳情

    EVG鍵合機應用:全自動將臨時晶圓晶圓鍵合到剛性載體上

    一、簡介

    全自動的臨時鍵合系統晶圓鍵合機可在一個自動化工具中實現整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加,烘焙,將設備晶圓與載體晶圓的對準和鍵合開始。與所有EVG的全自動工具晶圓鍵合機一樣,設備布局是模塊化的,這意味著可以根據特定過程對吞吐量進行優化??蛇x的在線計量模塊允許通過反饋回路進行全過程監控和參數優化。

    由于EVG的開放平臺,因此可以使用不同類型的臨時鍵合粘合劑,例如旋涂熱塑性塑料,熱固性材料或膠帶。

    二、EVG鍵合機特征

    • 開放式膠粘劑平臺
    • 各種載體(硅,玻璃,藍寶石等)
    • 適用于不同基板尺寸的橋接工具功能
    • 提供多種裝載端口選項和組合
    • 程序控制系統
    • 實時監控和記錄所有相關過程參數
    • 集成的SECS / GEM接口
    • 可選的集成在線計量模塊,用于自動反饋回路

    三、EVG鍵合機技術數據

    • 晶圓直徑(基板尺寸):最長300毫米,可能有超大的托架、不同的基材/載體組合
    • 組態:
      1. 外套模塊
      2. 帶有多個熱板的烘烤模塊
      3. 通過光學或機械對準來對準模塊
      4. 鍵合模塊

    四、選件

    • 在線計量
    • ID閱讀
    • 高形貌的晶圓處理
    • 翹曲的晶圓處理


    關鍵詞:控制系統
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