JSM-7200F 熱場發射掃描電子顯微鏡

JSM-7200F 熱場發射掃描電子顯微鏡

JSM-7200F的電子光學系統應用了日本電子旗艦機-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術，標配了TTLS系統（Through-The-Lens System），因此無論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統機型有了很大的提升。

產品規格：

主要選配件

可插拔式背散射電子探頭（RBED）

高位二次電子探頭（USD）

低真空二次電子探頭（LV-SED）

能譜儀（EDS)

波譜儀（WDS）

電子背散射衍射系統（EBSD)

陰極熒光系統（CLD）

樣品臺導航系統（SNS）

電子束曝光系統

產品特點：

JSM-7200F的電子光學系統應用了日本電子旗艦機-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術，標配TTLS系統（Through-The-Lens System），無論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統機型有了很大的提升。此外，保證300nA的束流，能兼顧高分辨率觀察和高通量分析，具有充實的自動功能和易用性，是新一代的多功能場發射掃描電鏡。

＜特點＞

JSM-7200F的主要特點有：應用了浸沒式肖特基電子槍技術的電子光學系統；利用GB（Gentle Beam 模式）和各種檢測器在低加速電壓下能進行高分辨觀察和選擇信號的TTLS系統（Through-The-Lens System）；電磁場疊加的混合式物鏡。

浸沒式肖特基電子槍

浸沒式肖特基場發射電子槍為日本電子的技術，通過對電子槍和低像差聚光鏡進行優化，能有效利用從電子槍中發射的電子，即使電子束流很大也能獲得很細的束斑。因而可以實現高通量分析（EDS、WDS面分析、EBSD分析等）。

TTLS（through-the-lens系統）

TTLS（through-the-lens系統）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進行高分辨率觀察和信號選擇的系統。 利用GB（Gentle Beam 模式）通過給樣品加以偏壓，對入射電子有減速、對樣品中發射出的電子有加速作用，即使在低加速電壓（入射電壓）下，也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。
此外，利用安裝在TTLS的能量過濾器過濾電壓，可以調節二次電子的檢測量。這樣在極低加速電壓的條件下，用高位檢測器（UED）就可以只獲取來自樣品淺表面的大角度背散射電子。因過濾電壓用UED沒有檢測出的低能量電子，可以用高位二次電子檢測器（USD，選配件）檢測出來，因此JSM-7200F能同時獲取二次電子像和背散射電子像。

混合式物鏡（電磁場疊加）

JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開發的混合式透鏡。
這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場疊加型物鏡，比傳統的out-lens像差小，能獲得更高的空間分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性，所以可以觀察和分析磁性材料樣品。