MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡概要： |
MET80L/MET120L 晶圓觀察顯微鏡采用靈活的模塊化設計、不僅確保的光學性能，還具有安全穩定的機架結構，使之低重心、高剛性、高穩定性，極大的提高了顯微鏡的抗振能力，使 MET80L/MET120L 晶圓觀察顯微鏡可廣泛的應用于工業檢測及大型試樣檢測，特別是 LCD 液晶屏行業、晶圓行業的理想檢測工具。
MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡特點： |
采用前置低位粗微同軸調焦系列，配合渦輪渦桿的自鎖結構，使之在超大負荷工作下也不會出現下滑現象， 以及長期使用的可靠性 |
超大行程移動平臺，移動范圍: 305mmX305mm, 可適用于 12”的晶圓、LCD 或FPD 檢測， 也可用于小尺寸樣品的陳列檢測，通過切換離合器手柄可實現全行程范圍內的快速移動。 |
多樣的照明器可供選擇：12V50W 鹵素燈明場落射照明，12V50W 鹵素燈明暗場落射照明，LED明場落射 照明，可以根據需要選擇，電器全部內置主機，方便操作。 |
高精度物鏡轉換器：采用精密軸承設計，秉承了麥克奧迪輕巧舒適的手感和良好的重復定位精度及同心精度。 |
MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡的規格參數 |
MET80L | MET120L | |
光學系統 | CCIS 無限遠色差校正光學系統 | |
目鏡 | 高眼點平場大視野，±5D 視度調節，10X/20，明場可選（10X/22） | |
物鏡 | 長距明場金相物鏡 5X/0.13，10X/0.30，20X/0.40 | |
觀察筒 | 30°傾斜鉸鏈式雙目鏡筒；30°傾斜鉸鏈式三目鏡筒 | |
雙目鏡筒瞳距 | 55~75mm | |
樣品厚度 | ≥ 38mm | |
物鏡轉換器 | 內定位五孔物鏡轉換器 | |
中間體 | 12V50W 鹵素燈明場落射照明， 12V50W 鹵素燈明暗場落射照明， LED 明場落射照明， 全部采用反射式柯拉照明，帶可調式可變視場光欄和可變孔徑光欄， 可配偏光附件 | |
偏光附件 | 附件式，檢偏器可 360 度旋轉，消光比≥ 10000 | |
粗微動調焦裝置 | 粗微同軸調焦，粗動調焦 3mm/ 轉，微動調焦 0.1mm/ 轉，0.001mm/ 格。 | |
機械移動載物臺 | 移動范圍 : 8”X 8”mm 選配：圓晶臺板 | 移動范圍 : 8”X 8”mm 選配：圓晶臺板 |
