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    • 磁控濺射脈沖電源

    磁控濺射脈沖電源

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    • 更新時間2023-09-18
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    陜西藍(lán)海電氣有限公司成立于2007年,是一家專業(yè)從事電源研發(fā)生產(chǎn)的技術(shù)型企業(yè),產(chǎn)品涵蓋穩(wěn)壓電源、變頻電源、特種電源、高壓電源、逆變電源、不間斷電源(UPS電源)、靜止變流器、高低壓配電柜、充電機(jī)、 照明電器、變壓器、機(jī)載天線、航空地面檢測設(shè)備、航空慣導(dǎo)設(shè)備、航空機(jī)載設(shè)備、非標(biāo)機(jī)載設(shè)備、電子設(shè)備、通訊設(shè)備(不含廣播地面接收設(shè)施)、非標(biāo)機(jī)電設(shè)備的生產(chǎn)與銷售;工業(yè)自動控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、自動化儀器儀表及測試系統(tǒng)、電力自動化設(shè)備、樓宇自動化設(shè)備工程的開發(fā)、設(shè)計、安裝、施工與技術(shù)咨詢、技術(shù)服務(wù)的;公司以西安各大高校和科研院所為技術(shù)依托,以誠實(shí)守信、高效專業(yè)的經(jīng)營理念竭誠為廣大客戶服務(wù)。產(chǎn)品在工業(yè)自動化控制、樓宇自動化、電子儀器儀表、電力、通訊、鐵路、航空航天、科研院所、太陽能和風(fēng)力發(fā)電、產(chǎn)品等諸多行業(yè)均有廣泛的應(yīng)用。 公司以生產(chǎn)電源系列產(chǎn)品為主、兼有工業(yè)自動化控制和自動化測試設(shè)備等百余個品種;其中 AC/AC變頻電源、DC/AC靜變電源、AC/DC和DC/DC開關(guān)電源產(chǎn)品作為公司的支柱產(chǎn)品,具有功率密度高、波形品質(zhì)高、紋波小、轉(zhuǎn)換效率高、電磁兼容性好、結(jié)構(gòu)合理、性能穩(wěn)定等諸多良好品質(zhì)。個別種類的產(chǎn)品與國外公司的同類產(chǎn)品相比,部分性能優(yōu)于國外產(chǎn)品。 公司在產(chǎn)品研發(fā)方面,堅持自主研發(fā)與橫向聯(lián)合相結(jié)合,積極同各大高校和科研院所展開技術(shù)合作與交流,不斷引進(jìn)、吸收技術(shù)。在質(zhì)量管理方面,建立了完善的生產(chǎn)和售后服務(wù)質(zhì)量保證體系。公司依托自身精練的機(jī)構(gòu)、*的管理理念、有效的內(nèi)部激勵機(jī)制,使產(chǎn)品質(zhì)量在生產(chǎn)過程中得到了保證。 公司始終以客戶和員工為關(guān)注焦點(diǎn),以質(zhì)量求生存,以技術(shù)創(chuàng)新求發(fā)展為經(jīng)營理念,并以滿足客戶的特殊要求為目的。公司秉承生產(chǎn)企業(yè)的優(yōu)良傳統(tǒng),致力于高品質(zhì)、高可靠性的產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)。 全體員工以“敬業(yè)、嚴(yán)謹(jǐn)、縝密、求精”的工作作風(fēng),以良好的產(chǎn)品質(zhì)量、售后服務(wù)和合理的價格來滿足廣大用戶的不同需求。
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    隨著科學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展,磁控濺射技術(shù)也得到了快速的發(fā)展,但在磁控濺射過程中,關(guān)鍵部分是脈沖磁控濺射電源,目前,脈沖磁控濺射電源向大功率、高頻化方向發(fā)展,由于開關(guān)電源的高頻化使得開關(guān)電源的損耗增加,因此,我公司設(shè)計生產(chǎn)的大功率磁控濺射脈沖電源采用了移相式軟開關(guān)技術(shù),大大降低了電源的開關(guān)損耗,提高了電源的效率,利用輸出電流保護(hù)點(diǎn)設(shè)置的方法,是輸出電流任意調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)了快速反應(yīng)的過流保護(hù)。
    磁控濺射脈沖電源 產(chǎn)品詳情
      產(chǎn)品名稱:磁控濺射脈沖電源

      產(chǎn)品型號:BIPS-50001.2E

       

            隨著科學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展,磁控濺射技術(shù)也得到了快速的發(fā)展,但在磁控濺射過程中,關(guān)鍵部分是脈沖磁控濺射電源,目前,脈沖磁控濺射電源

      向大功率、高頻化方向發(fā)展,由于開關(guān)電源的高頻化使得開關(guān)電源的損耗增加,因此,我公司設(shè)計生產(chǎn)的大功率磁控濺射脈沖電源采用了移相式軟開

      關(guān)技術(shù),大大降低了電源的開關(guān)損耗,提高了電源的效率,利用輸出電流保護(hù)點(diǎn)設(shè)置的方法,是輸出電流任意調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)了快速反應(yīng)的過流保護(hù)。高

      效和完善的保護(hù)措施是電源能長期可靠的運(yùn)行保證,電源控制采用數(shù)字化設(shè)計,實(shí)現(xiàn)電源的本地控制和上位機(jī)智能化控制的目的。

            電源采用脈沖單元疊加技術(shù),將5組相互獨(dú)立的單元模塊串聯(lián)起來,采用同步驅(qū)動技術(shù),實(shí)現(xiàn)了5kV 的高壓脈沖輸出。可通過增減脈沖單元的數(shù)量,滿足

      不同輸出電壓的需要,實(shí)現(xiàn)了模塊化設(shè)計。

            該系列電源的指標(biāo)為:
            脈沖電壓幅值500V~5kV ,脈沖頻率500Hz~50kHz ,脈沖占空比5%~90% ,脈沖電流幅值10~200A ,脈沖功率5~50kW。
      1、單極性脈沖磁控濺射電源是在直流磁控濺射電源基礎(chǔ)上增加單極性正脈斬波電路組合而成,消除了由于直流反應(yīng)濺射出現(xiàn)的靶的污染、陽極

           消失、極間打火等問題。

      2、該電源除具有直流磁控濺射電源的優(yōu)點(diǎn)外,能明顯改善靶面電荷積累現(xiàn)象,減少濺射靶表面的打火次數(shù),提高膜層質(zhì)量,適用于金屬、合金

           及石墨等靶材鍍制純金屬膜,碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。能明顯性改善靶面電荷積累現(xiàn)象,減少濺射靶表面的打火次數(shù),提高

           膜層質(zhì)量。

      3、輸出電壓為單極性脈沖,具有平均電流穩(wěn)流功能。

      4、該電源由多個相對獨(dú)立的單元疊加而成,具有可靠性高、擴(kuò)展性好等特點(diǎn)。
      1、 型號:BIPS-50001.2E;

      2、 額定功率:6kW;

      3、 額定輸入電壓:3 AC380V±10%, 50Hz ;

      4、 輸出方式:脈沖;

      5、 輸出頻率:5~20kHz ;

      6、 脈沖電壓幅值:1000~5000V(峰值);

      7、 平均電流:0~1.2A;

      8、 輸出脈沖周期:50~200uS;

      9、 脈沖占空比:10~50% ;

      10、冷卻方式:風(fēng)冷;

      11、外形尺寸:435mm×264mm×554mm(寬×高×深);

      12、保護(hù)功能:具有過流、過壓、過熱等保護(hù)措施;

      13、液晶屏的智能控制系統(tǒng),任意設(shè)定輸出脈沖電壓幅值、脈沖周期時間及脈沖頻率,以及各種工藝參數(shù),具有在線可編程功能。
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