3D光學輪廓儀是具有白光干涉和相移干涉技術的表面形貌儀,具有高掃描速度,垂直分辨率高達亞納米0.1nm,從而具有三維臺階儀功能。
3D光學輪廓儀NV系列具有探針/傾斜功能，能夠測量甚至高度傾斜的表面。可以虛擬測量任何表面，并立即顯示生動的3D圖像，如紋理,粗糙度,透明的樣品等等。
3D光學輪廓儀特點
白光掃描干涉技術-非接觸、無損、快速測量
觸針儀器不能測量小于觸針直徑的微凹凸。白光干涉測量法可以測量微幾何形狀的表面粗糙度由于微小的光斑尺寸而具有相當高的分辨率。
移相干涉技術
相移干涉測量法是一種成熟的技術用于依賴于在受控相移期間獲取的干擾數據，大多數通常由受控的機械振蕩引起干擾物鏡,它提供具有典型高度測量的完整3D圖像,重復精度高達1nm。
區域掃描強度測量方法
與掃描視場中每個點的方法不同，WSI具有通過測量來減少測量時間的*點區域掃描
輪廓儀的粗糙度測量功能
3D光學輪廓儀NV系列具有探針/傾斜功能，能夠測量甚至高度傾斜的表面。可以虛擬測量任何表面，并立即顯示生動的3D圖像，如紋理,粗糙度,透明的樣品等等。
3D光學輪廓儀特點
白光掃描干涉技術-非接觸、無損、快速測量
觸針儀器不能測量小于觸針直徑的微凹凸。白光干涉測量法可以測量微幾何形狀的表面粗糙度由于微小的光斑尺寸而具有相當高的分辨率。
移相干涉技術
相移干涉測量法是一種成熟的技術用于依賴于在受控相移期間獲取的干擾數據，大多數通常由受控的機械振蕩引起干擾物鏡,它提供具有典型高度測量的完整3D圖像,重復精度高達1nm。
區域掃描強度測量方法
與掃描視場中每個點的方法不同，WSI具有通過測量來減少測量時間的*點區域掃描
輪廓儀的粗糙度測量功能
高可追溯性和重復精度
通過美國國家標準與技術研究院認證的超大規模集成電路步長標準樣品進行校準。實現的精度和作為高度測量系統的可重復精度。
光學輪廓儀的臺階高度測量功能
**的軟件
給出臺階高度,粗糙度并進行3D數據分析
圖像縫合功能
表面形貌分析
表面顏色和強度分析
灰度圖像,二進制圖像,彩色圖像分析
高光譜圖像分析
3D粗糙度分析
3D光學輪廓儀規格參數
| 型號 | NV-1800 | NV-2400 | NV-2700 | NV-3200 |
| 測量技術 | 白光干涉/移相干涉 | 白光干涉/移相干涉 | 白光干涉/移相干涉 | 白光干涉/移相干涉 |
| FOV鏡頭 | 1x | 1x | 4位電動物鏡塔臺 | 4位電動物鏡塔臺 |
| 干涉物鏡 | 單鏡頭 | 5鏡頭（手動） | 5鏡頭（電動） | 5鏡頭（電動） |
| 照明 | 白光LED照明 | 白光LED照明 | 白光LED照明 | 白光LED照明 |
| 掃描范圍 | <=270um | <=270um | <=270um | <=270um |
| 掃描速度 | 7.2微米/秒 | 12微米/秒 | 12微米/秒 | 12微米/秒 |
| Tip/tilt | +/-3度（位移臺tip/tilt） | 探針+/-6度手動傾斜 | 探針+/-6度電動傾斜 | 探針+/-6度電動傾斜 |
| 垂直分辨率 | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm | 白光干涉0.5nm 移相干涉0.1nm |
| 橫向分辨率 | 0.2~4um | 0.2~4um | 0.2~4um | 0.2~4um |
| 臺階高度重復精度 | 0.2%@1sigma | 0.1%@1sigma | 0.1%@1sigma | 0.1%@1sigma |
| XY行程 | 70x50mm手動 | 100x100mm電動 | 100x100mm電動 | 300x300mm電動 |
| Z行程 | 30mm手動 | 100mm手動 | 100mm電動 | 100mm電動 |
| 位移臺尺寸 | 90x90mm | 230x230mm | 230x230mm | 445x445mm |
| FOV鏡頭可選 | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x | 0.5x,0.75x,1x,1.5x,2x |
| 干涉鏡頭可選 | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x | 2.5x,5x,10x,20x,50x, 100x |
