由超聲波發生器發出的高頻振蕩信號，通過換能器轉換成高頻機械振蕩而傳播到介質--清洗溶劑中，超聲波在清洗液中疏密相間的向前輻射，使液體流動而產生數以萬計的微小氣泡。這些氣泡在超聲波縱向傳播的負壓區形成、生長，而在正壓區迅速閉合。在這種被稱之為“空化”效應的過程中，氣泡閉合可形成超過1000個氣壓的瞬間高壓，連續不斷地產生瞬間高壓就象一連串小“爆炸”不斷地沖擊物件表面，使物件的表面及縫隙中的污垢迅速剝落，從而達到物件表面凈化的目的。
清洗介質：采用超聲波清洗，一般有兩類清洗劑：化學溶劑、水基清洗劑等。清洗介質的化學作用，可以加速超聲波清洗效果，超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結合，以對物件進行充分、的清洗。
功率密度：超聲波的功率密度越高，空化效果越強，速度越快，清洗效果越好。但對于精密的、表面光潔度甚高的物件，采用長時間的高功率密度清洗會對物件表面產生“空化”腐蝕。
超聲波頻率：超聲波頻率越低，在液體中產生的空化越容易，產生的力度大，作用也越強，適用于工件（粗、臟）初洗。頻率高則超聲波方向性強，適合于精細的物件清洗。
清洗溫度：一般來說，超聲波在30-40攝氏度時的空化效果好。清洗劑則溫度越高，作用越顯著。通常實際應用超聲波清洗時，采用40-60攝氏度的工作溫度。
清洗時工件的放置方式及清洗液量的選擇，一般清洗液的液面高于振動面100mm以上，對于較大的工件，一般用不銹鋼的網籠清洗，網籠的網眼與超聲波的工作頻率有關，目前的工業清洗頻率要求一般網眼大于10mm以上。
