54X工業檢測顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡，其采用了優等的無限遠校正光學系統，圖象清晰，襯度好，是針對半導體工業、硅片制造業、電子信息產業、冶金工業開發的，作為高級工業顯微鏡適用。可進行明暗場、落射偏光和微分干涉的觀察，廣發用于工廠、研究機構、高等院校對硅片、電路基板、裂縫探究、精密模具的監測分析。該顯微鏡配有三目鏡管可選配攝像裝置和攝影裝置，并連接電腦再配置測量軟件或金相圖像分析軟件，便可成為一臺工業計算機輔助檢測顯微鏡。
技術規格： 儀器成套性：
54X 三目工業檢測顯微鏡 物鏡：
（放大倍數/數值孔徑NA/工作距離mm）無窮遠長工作距離平場物鏡5X/0.1/29.4、10X/0.25/16、
20x/0.40/10.6、40X/0.60/5.4 平場目鏡：
（放大倍數/視場直徑mm）10X/25 分劃目鏡： 10X/20（格值0.10毫米） 總放大倍數： 50X-500X 物鏡轉換器： 五孔帶DIC、明暗場插孔 調焦系統： 粗微動同軸，采用齒輪齒條傳動機構 調焦距離： 30毫米（微動格值0.002毫米） 平臺： 雙層移動平臺尺寸350*310毫米
玻璃平臺尺寸268*198毫米 移動范圍： 250*250毫米 簡易偏光裝置： 檢偏鏡可360°傳動，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 DIC暗場裝置： DIC、暗場插件均可移出光路 落射照明： 帶孔徑光欄和市場光欄；鹵素燈12V100W，亮度可調 儀器重量： 約35kg 選購件 : 目鏡15//17、20/12.5；無窮遠平場物鏡50X/0.55/5.1、80X/0.75/4.0；
攝影裝置和攝像裝置
規格 數量 顯微鏡主機： 1臺 目鏡： 1對 分劃目鏡： 10X、0.1毫米十字分劃板 1只 物鏡： 5X、10X、20X、40X 各1只 濾色鏡片： 綠、藍、磨砂玻璃 各1片 簡易偏光裝置： 1套 側微尺： 每格刻度0.01mm 1塊 照明器： 1件
