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    • VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

    VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

    參考價
    面議
    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地天津市
    • 更新時間2023-08-17
    • 廠商性質其他
    • 所在地區天津市
    • 實名認證已認證
    • 產品數量71
    • 人氣值752
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    VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 產品詳情

    VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀,基片尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材 和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,鋁,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

    技術參數

    輸入功率

    • 110V / 220V 通用
    • < 2000W (含真空泵)

    輸出功率

    • 1600VDC
    • 電流50mA

    樣品室

    石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

    加熱樣品臺

    • 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置
    • 基片可以放在樣品臺上. 加熱溫度 500°C
    • PID控溫方式和觸摸屏面板,控溫精度+/-1°C

    控制面板

    • 控制面板為PLC6" 觸摸屏
    • 一個控制面板可以控制所有的參數,包括真空度 , 電流 , 靶材位置 基片加熱溫度

    可選

    • KF25 真空接口、卡箍,和600mm長不銹鋼波紋管
    • 120L/M旋片式真空泵(包含在儀器內)
    • Vapor trap eliminates the oil mist
    • 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
    • 高純度金箔靶
    • 需要一個帶壓力調節器的氬氣瓶 (這個我們不提供)

    進氣口

    一個針閥安裝進氣口,以實現更好的等離子涂層



    靶材

    標配靶材分別有

    • 金,銀,銅 靶材:
    • 尺寸: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
    • 可選靶材點擊鏈接、
      Pt , Ag target , Zinc tarhet

    外形尺寸

    • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
    • 凈重:50KG

    質保期

    一年質保期,相關耗材除外,終身維護。

    質量認證

    Certified

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