三坐標的平臺是花崗巖結構，這樣三坐標的主軸也是花崗巖材質。主軸采用花崗巖而橫梁和Z軸采用鋁合金等其他材質，在溫度變化時會因為三軸的熱膨脹系數不均同而引起測量精度的失真和穩定。
固定橋架型三坐標測量儀介紹：
固定橋架型，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿著垂直軸的水平橫梁上做方向移動。橋架(支柱)被固定在機器本體上，測量臺沿著水平平面的導軌作軸方向的移動，且垂直于和軸。每軸皆由馬達來驅動，可確保位置精度，此機型不適合手動操作。
柱式橋架型三坐標測量儀介紹：
柱式橋架型，與床式橋架型式比較時，柱式橋架型其架是直接固定在地板上又稱為門型，比床式橋架型有較大且更好的剛性，大部分用在較大型的三坐標測量儀上。各軸都以馬達驅動，測量范圍很大，操作者可以在橋架內工作。
單支柱移動型三坐標測量儀介紹：
單支柱移動型，軸為主軸在垂直方向移動，支柱整體沿著水平面的導槽在軸上移動，且垂直軸，而軸連接于支柱上。測量臺沿著水平面的導槽在軸上移動，且垂直軸和軸。此型測量臺面、支柱等具很好的剛性，因此變形少，且各軸的線性刻度尺與測量軸較接近，以符合阿貝定理。
三坐標測量儀機型介紹：
結構型式：三軸花崗巖、四面全環抱的德式活動橋式結構
傳動方式：直流伺服系統 預載荷高精度空氣軸承
長度測量系統：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm
測頭系統：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針
機 臺：高精度（00級）花崗巖平臺
使用環境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h
空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa
空氣流量：25 L/min
長度精度MPEe： ≤2.1 L/350 (μm)
探測球精度MPEp： ≤2.1μm
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