Plasma清洗儀是利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是對氣體施加足夠能量使其離化形成,plasma清洗儀是通過等離子體中離子、處于高速運動狀態的電子、光子、活性基團等“活性”成分來處理表面以實現清潔、改性等目的,具體工作原理是在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下啟輝產生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產品表面,以達到清洗目的。
Plasma清洗儀具體使用步驟為,打開電源,將樣品放入真空腔中,蓋上蓋子,打開真空泵,至少等待一段時間以確保將真空腔抽為真空,并且蓋子無法抬起,設定清洗功率,選擇清洗時間,儀器開始工作;清洗結束后,關閉真空泵,向真空腔中通大氣,取出樣品,關閉儀器,電源。