氣體泄漏測試GRYLLS熱式質量流量控制器
熱式氣體流量控制器 采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電壓進行比較,用所得的差值去驅動控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
氣體泄漏測試GRYLLS熱式質量流量控制器
熱式氣體流量控制器 產品應用:
玻璃行業、太陽能、大氣監測、工業制作、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環保、各種儀器分析
格里爾斯GRYLLS5950系列
模擬式質量流量計/控制器(低量程)技術參數:
GRYLLS5950系列-MFC 質量流量控制器
GRYLLS5950系列-MF 質量流量計
模擬式質量流量計量程范圍5SCCM ~ 30SLM
準確度±1.0%F.S 溫度:±1℃ 線性±0.5%F.S 重復精度±0.2%F.S
響應時間<2s<1.5s 模擬量0 ~ 5V、4 ~ 20mA 供電±15VDC,24VDC
工作溫度0 ~ 50℃
工作壓力工作壓差:0.05 ~ 0.5MPa工作壓降:<30Kpa *耐壓3MPa/10MPa
電氣連接DB15 孔
漏率1×10-9SCCSHe
溫度系數±0.015%F.S/℃
底座材質316L
密封材質氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠
接頭φ3,φ6,1/8",1/4"
