IKEIDARIKA池田理化膜厚儀OPTM-A1
OPTM-A1,Opt-scope,Auto SE,VS1800,Smartproof 5
IKEIDARIKA池田理化膜厚儀OPTM-A1
IKEIDARIKA池田理化膜厚儀OPTM-A1
OPTM-A1,Opt-scope,Auto SE,VS1800,Smartproof 5
顯微分光膜厚儀OPTM系列特征:
薄膜厚度測量所需的功能集成在測量頭中。
使用顯微光譜法進行高精度絕對反射率測量。
每1秒以內(nèi)的高速測量。
實現(xiàn)顯微鏡下寬測量波長范圍的光學(xué)系統(tǒng)。
區(qū)域傳感器安全機制。
一個簡單的分析向?qū)В词故浅醮问褂玫挠脩粢部梢赃M行光學(xué)常數(shù)分析。
配備可自定義測量順序的宏功能。
支持各種自定義。
Opt-scope是一種白光干涉顯微鏡(非接觸式三維表面粗糙度/形狀測量儀),能夠在所有鏡頭放大倍率下以0.01nm的高分辨率進行高速測量。從窄范圍內(nèi)的精細粗糙度測量到寬范圍內(nèi)的起伏形狀測量,可以在廣泛的測量條件下進行亞納米級表面紋理測量。帶有可選電動XY載物臺的拼接功能可實現(xiàn)更寬范圍的測量。
自動薄膜測量裝置Auto SE特征:
非接觸式無損測量,不會損壞樣品；
可在1nm至15μm范圍內(nèi)評估膜厚；
還可以評估材料的光學(xué)常數(shù)(折射率 n、消光系數(shù)k)；
也可以評估單層和多層結(jié)構(gòu)；
支持小至100μm見方的微小區(qū)域的測量；
標配電動XYZ載物臺,支持面內(nèi)分布測量；
實現(xiàn)樣品表面狀況和測量位置的可視化。
線掃描膜厚測試儀TI系列特征:
采用線掃描方式實現(xiàn)無"遺漏"的全面薄膜檢測
膜厚測量范圍:0.7～300μm；
10ms獲取500mm寬度1mm間隔數(shù)據(jù)；
作為薄膜厚度測量專業(yè)制造商的全面支持；
可進行高速高精度測量；
使用抗抖動的光學(xué)系統(tǒng)；
可處理寬樣品(可測量TD方向最長10m)；
硬件和軟件的原創(chuàng)設(shè)計。
VS1800納米三維光學(xué)干涉測量系統(tǒng)利用光干涉現(xiàn)象測量微小的表面輪廓，實現(xiàn)高性能薄膜、半導(dǎo)體、汽車零部件和顯示器行業(yè)所需的高精度測量。此外，還可以非破壞性地測量多層薄膜的層結(jié)構(gòu)和層內(nèi)的異物。
工業(yè)廣角共聚焦顯微鏡Smartproof 5通過采用圓盤共聚焦技術(shù)，與傳統(tǒng)激光顯微鏡相比，它在保持高分辨率的同時實現(xiàn)了壓倒性的高速成像。高清4兆像素攝像頭以50fps的高速平面內(nèi)掃描捕獲2048x2048像素。
